【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于射频通信及微电子机械(MEMQ领域中的电子元器件设计制造
，特别是涉及一种微机械圆盘式谐振器的制造；该谐振器可在无线通信手持设备的滤波电路和高Q值参考振荡电路等中得到广泛应。
技术介绍
射频谐振器是射频电路的基本元件，广泛应用于滤波、振荡和可调放大等电路以及频率计中。微机械圆盘谐振器是近几年发展起来的一种射频谐振器。像其它射频谐振器一样，它可以应用在无线通信领域中，如射频收发系统、卫星定位系统以及雷达通信系统等。相比其它射频谐振器，微机械圆盘谐振器具有高Q(储能与耗能之比)值、小型化、轻量化、智能化、低功耗和低成本特点，满足目前的移动通信手机、英特网商务无线接入系统、蓝牙系统、全球定位系统等提出的要求。近年来，国内外微机械圆盘谐振器研究取得了一些突破，振动微机械圆盘谐振器的谐振频率被提高到特(超)高频中段(mid-UHF range)，Q值也已经超过了 10000，这使它能够应用于无线通信手持设备的滤波电路和高Q值参考振荡电路。由于振动微机械圆盘谐振器输入电压到短路输出电流的传递函数可以表示为 、=丄2⑷巢 2(1)权利要求1.一种微机械圆盘谐振器，包括基片、以及设于基片上的带直流偏置导线的振动圆盘， 设于振动圆盘两则、且分别带输入连接线的环片式交流输入电极和带输出连接线的环片式交流输出电极，其特征在于在谐振器内还分别设有一对用于输入电极及输出电极定位的固定条和一对悬置式波纹梁；振动圆盘仍通过设于该圆盘底部中心的点状支承与基片固定， 输入电极及输出电极环片的两内端分别与对应固定条的定位面连接固定，两对固定条分别与交流输入接头及交流输出...
【技术保护点】
１．一种微机械圆盘谐振器，包括基片、以及设于基片上的带直流偏置导线的振动圆盘，设于振动圆盘两则、且分别带输入连接线的环片式交流输入电极和带输出连接线的环片式交流输出电极，其特征在于在谐振器内还分别设有一对用于输入电极及输出电极定位的固定条和一对悬置式波纹梁；振动圆盘仍通过设于该圆盘底部中心的点状支承与基片固定，输入电极及输出电极环片的两内端分别与对应固定条的定位面连接固定，两对固定条分别与交流输入接头及交流输出接头连接，输入电极及输出电极的外侧分别与对应的一对波纹梁的内端连接、各波纹梁的外端则分别通过相应的支承柱固定于谐振器基片上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：鲍景富，邓成，杜亦佳，蒋俊文，何宗郭，何月，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：90
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