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一种微机械圆盘谐振器制造技术
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文档序号:6932406
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该发明属于一种微机械圆盘谐振器,包括基片、带直流偏置导线的振动圆盘,设于振动圆盘两则、且分别带输入连接线、波纹梁的环片式输入电极和带输出连接线、波纹梁的环片式输出电极,分别与两电极固定的固定条。该发明由于将传统微机械圆盘谐振器中固定于基片上...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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