下载一种微机械圆盘谐振器的技术资料

文档序号:6932406

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

该发明属于一种微机械圆盘谐振器,包括基片、带直流偏置导线的振动圆盘,设于振动圆盘两则、且分别带输入连接线、波纹梁的环片式输入电极和带输出连接线、波纹梁的环片式输出电极,分别与两电极固定的固定条。该发明由于将传统微机械圆盘谐振器中固定于基片上...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。