多晶硅铸锭用免喷涂熔融石英坩埚的制造方法技术

本发明专利技术公开了一种多晶硅铸锭用免喷涂熔融石英坩埚的制造方法，其先将高纯熔融石英原料一起通过球磨研磨进行湿法造粒，将料浆充分搅拌后，再加入粉状高纯熔融石英原料混合均匀，然后注入石膏模具中进行充分的脱水成型，脱模；脱模后的坯体在180℃以下进行干燥，制得毛坯；对毛坯进行打磨、清洁预处理；在毛坯内表面喷涂0.2～0.7mm的氮化硅涂层；将喷有氮化硅涂层的毛坯用烧结罩笼罩后或将喷有氮化硅涂层的毛坯装入带有盖子的烧结罩内后，在梭式窑炉中于1000～1300℃下烧结14～24小时。本发明专利技术较现有技术缩短了生产周期，简化了生产工艺，大大降低了能耗，提高了生产效率、成品率及企业的经济效益。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于石英坩埚制造领域，具体涉及一种用于多晶硅铸锭的免喷涂熔融石英坩埚的制造方法。
技术介绍
太阳能多晶硅的迅猛发展，大大加快了多晶硅熔融铸锭所使用的熔融石英坩埚的研究发展。行业内由于坩埚成品率的问题，目前所生产的石英坩埚大多是未喷涂的，使用者在用这种坩埚时必须自备喷涂设备，在成品坩埚内部喷上一层氮化硅涂层，然后在1000°c 以上烧结M个小时以上才能开始装入纯硅料进行使用。市场上也有少量免喷涂石英坩埚， 但这只是在坩埚生产后继续喷涂并烧结，工艺并没有改变，而且这种工艺生产周期长，耗能巨大。现行坩埚生产中的打磨工序是在坩埚烧结以后进行，由于烧结后的坩埚硬度很高，导致对设备和磨具的要求也高，而且打磨过程中需要用大量的水进行冷却。另一方面，在烧结过程中坩埚由于不同部位受热不均，容易在石英坩埚内部形成瑕疵或裂纹等，这也是目前造成石英坩埚成品率低下的一个重要原因。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决上述问题，提供一种用于多晶硅铸锭的免喷涂熔融石英坩埚的制造方法，该法可使石英坩埚的生产周期缩短，减化了客户使用坩埚的工艺，大大降低了能耗并提高了坩埚成品率。本专利技术的目的可以通过以下本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种多晶硅铸锭用免喷涂熔融石英坩埚的制造方法，其特征在于：包括如下步骤：（１）将块状及粒状高纯熔融石英原料一起通过球磨研磨进行湿法造粒，研磨后的料浆粒径为１０μｍ～５０μｍ；（２）将料浆充分搅拌后，再加入粉状高纯熔融石英原料混合均匀，然后注入石膏模具中进行充分的脱水成型，脱模；（３）脱模后的坯体在１８０℃以下进行干燥，制得毛坯；（４）对毛坯进行打磨、清洁预处理；（５）在毛坯内表面喷涂０．２～０．７ｍｍ的氮化硅涂层；（６）将喷有氮化硅涂层的毛坯用烧结罩笼罩后或将喷有氮化硅涂层的毛坯装入带有盖子的烧结罩内后，在梭式窑炉中于１０００～１３００℃下烧结１４～２４小时。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：方清，
申请(专利权)人：江苏润弛太阳能材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：32