【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微机械电子系统(MEMS)领域，特别涉及到基于薄膜体声波谐振器 (FBAR)的传感系统，其提出的提高体声波传感器分辨力的方法同样适用于石英晶体微天平。
技术介绍
根据Sauerbrey方程可知，晶体谐振频率变化与其表面淀积的物质质量成线性关系，因此可以通过测量晶体谐振频率的变化，准确检测其表面粘附物质的质量。声波传感器就是基于以上原理，通过检测其频率变化测量晶体表面粘附质量的传感器，具有成本低、操作简便、速度快、非标记、灵敏度高、检测范围大等优点，在工业过程监测、环境监测、临床医学检验、食品安全检验、毒气检测、药物开发等领域具有广阔应用前景。但是，同质谱、等离子体谐振和椭圆偏光等检测方法相比，声波传感器的分辨力相对较低，限制了其在药物筛选与生物材料筛选等领域的应用。开展便于应用的提高薄膜体声波传感器分辨力的方法研究，对扩大其应用范围具有重要意义。基于微加工技术，国际上目前已经成功研制出厚度伸缩模式和厚度剪切模式的薄膜体声波传感器。在薄膜体声波传感器工作时，材料阻尼和向衬底传播的声能消耗了部分声能，使传感器品质因数降低，进一步导致传感器分辨力降低。为...
【技术保护点】
１．一种高分辨力的闭环控制薄膜体声波传感系统，包括薄膜体声波传感器、电阻和反馈控制电路，其特征在于：所述薄膜体声波传感器与电阻串联，反馈控制电路对电阻两端的电压施加一个增益和一个相位差得到反馈电压，并将该反馈电压叠加到薄膜体声波传感系统的简谐驱动电压上实现主动控制，该反馈电压用于补偿薄膜体声波传感器损失的部分声能，以达到提高薄膜体声波传感系统分辨力的目的。
【技术特征摘要】
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