【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种薄图案制造装置和薄图案制造方法,所述薄图案制造装置能够在以单独的工艺中从基板上脱模出压印模(imprinting mold)时在压印模与基板之间型层脱模杆(demolding seed)。
技术介绍
相关技术的讨论近来,已经引入了能够降低阴极射线管(CRT)重量和体积(这也正是CRT的劣势) 的各种平板显示装置。这种平板显示装置包括液晶显示器、场发射显示器、等离子体显示板和电致发光(EL)显示器。这种平板显示装置可以由通过包括沉积(涂覆)工艺、曝光工艺、显影工艺和蚀刻工艺的掩模工艺形成的多个薄膜构成。然而,该掩模工艺的一个问题在于由复杂制造工艺产生了高制造成本。因此,近来进行了利用压印模在构图工艺中形成薄膜的研究。根据这种构图工艺,压印树脂被涂覆在基板上。然后,具有沟槽与凸起的压印模接触该压印树脂。当压印模的沟槽与凸起被反向地转印在压印树脂中时,在固化工艺中使被反向转印的压印树脂固化。结果,在基板上形成了期望的薄图案。这里,在使压印模与压印树脂接触时施加的力使得该压印模与基板之间的间隙变窄。因此,压印树脂6以毛细管形状一直扩散到基板4的一端,如 ...
【技术保护点】
1.一种平板显示装置,该平板显示装置包括:薄膜图案,其是通过压印模挤压基板上的压印树脂而形成的;外部薄膜图案,其形成于所述基板的与所述薄膜图案相邻的外部区域中,要在使所述基板从所述压印模上脱模时用作脱模籽,所述外部薄膜图案被设置为限制所述压印树脂的移动。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:金淏洙,宋泰俊,权当,赵恒燮,赵圣弼,张斗熙,
申请(专利权)人:乐金显示有限公司,
类型:发明
国别省市:KR
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