金刚石线锯装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种切割硅锭的金刚石线锯装置，由金刚石锯丝相互平行缠绕在成组的导线轮上形成的线网的网面构成多层切割网面，各层切割面上的金刚石锯丝上下对齐，按切割顺序，各层切割网面金刚石锯丝的直径逐渐增大，其中金刚石锯丝的线径逐渐增粗，而其上附着的金刚石磨粒尺寸逐渐减小。本实用新型专利技术采用多组金刚石锯丝切割网面依次切割硅片的方法，将硅片的切割、精磨和抛光分工序由不同性质的金刚石锯丝按不同的运行参数完成，以获得更高的硅材料利用率，满足切割线缝越来越窄、硅片切割朝更薄发展要求。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及脆硬非金属材料加工装置，具体说是一种切割硅锭的金刚石线锯直O
技术介绍
将单晶硅或者多晶硅的固体硅锭切割成硅片是太阳能光伏电池制造的关键工艺， 硅锭首先被切成方块，然后被切成很薄的硅片。目前应用最常见、最为成熟的切片设备为多线锯，多线锯的工作区设置一组平行导线轮，锯丝相互平行缠绕在导线轮上形成一个以一定线速度运行的“口”字形切割线网(如图1所示)，该切割线网的上、下水平线网面为硅锭切割面，硅锭被固定于切割台上，切割台垂直通过上、下水平切割网面，多线锯边切割边向锯丝供应磨粒悬浮液的游离磨料，使硅锭被切割成硅片。采用线锯机的切割方式，相比传统带锯切割、内圆锯片切割，在技术上有了极大的进步，但仍然存在着磨粒悬浮液对切割面上产生的表面裂纹及损伤层深度不易控制、磨粒和硅粉屑分离困难、作业环境恶劣、效率较低等问题。固结磨料金刚石微粒线锯切割是试图解决上述问题所提出的新的加工方法，从目前的研究成果来看，固结磨粒金刚石微粒线锯具有硅粉屑易回收处理、作业环节好、切割表面损伤小、效率高、切片薄、偏厚均勻等优势。所述固结磨料金刚石微粒线锯的固结方式主要有①树脂结合剂(含金属和非金属芯线)固结，本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．金刚石线锯装置，包括金刚石锯丝（２），其特征在于：沿切割进给方向，在一个切割工作面中，前后至少布置两条金刚石锯丝（２），或在一个以上相平行的切割工作面中，前后至少布置两组金刚石锯丝（２），同组中的金刚石锯丝（２）相互平行形成一层切割网面；后一条或后一组金刚石锯丝（２）的直径大于或等于前一条或前一组金刚石锯丝（２）的直径。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：宋京新，
申请(专利权)人：桂林创源金刚石有限公司，
类型：实用新型
国别省市：45