【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及检测装置、制造该检测装置的方法和检测系统。
技术介绍
传统上，已经使用了平板检测器，在该平板检测器中充当转换元件的光电二极管和充当开关元件的TFT被形成在同一层上。然而，此布置已经达到了开口率增大的限度。 关于此问题，美国专利申请公开No. 2003/0226974已经提出了一种通过将每个光电二极管的下电极与相应的TFT的两个主电极中的一个主电极电连接并且将光电二极管和TFT彼此堆叠来增大开口率的技术。当每个光电二极管和相应的TFT彼此堆叠时，在光电二极管的下电极和与TFT的两个主电极中的另一个主电极电连接的信号线之间产生寄生电容。在光电二极管的下电极和TFT的两个主电极中的另一个主电极之间也产生寄生电容。此外，在光电二极管的下电极和TFT的控制电极之间以及在光电二极管的下电极和与TFT的控制电极电连接的控制线之间产生寄生电容。这增大了与控制电极、控制线、TFT的两个主电极中的另一个主电极、和信号线有关的时间常数，导致影响经由信号线对电信号的读取。关于此问题，美国专利申请公开No. 2003/0226974已经提出了对于每个光电二极管和相应的开关...
【技术保护点】
１．一种检测装置，包括：衬底；开关元件，布置在所述衬底上方并且包括多个电极；导电线，布置在所述衬底上方并且与所述开关元件的多个电极中的第一电极电连接；和转换元件，包括布置在所述开关元件和所述导电线上方并且布置在两个电极之间的半导体层，所述两个电极中的一个电极与所述开关元件的多个电极中的第二电极电连接，第二电极不同于第一电极，其中，所述转换元件的所述一个电极通过在所述一个电极和所述开关元件的第一电极之间或在所述一个电极和所述导电线之间形成的空间而被布置在所述开关元件和所述导电线上方。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：望月千织，渡边实，石井孝昌，川锅润，藤吉健太郎，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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