电泳沉积装置及电泳沉积方法制造方法及图纸

技术编号:6797570 阅读:589 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开一种电泳沉积方法包括:提供一电泳槽、一阳极基板以及一阴极基板;将阳极基板与阴极基板相对设置于电泳槽中;调整阳极基板与阴极基板的相对位置,使得阳极基板上各区域与相对应的阴极基板上各区域间具有不相等的距离;以及分别输入阳极电压与阴极电压至阳极基板的阳极电极与阴极基板的阴极电极,以进行电泳沉积。在本发明专利技术中,利用调整电极板之间的距离分布以及利用复数个阳极电极提供电压分布补偿,使得原先因阴极电极的形状或大小导致阴极基板上电压分布不均,进而影响电泳沉积速率均匀性的问题得以有效地改善。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1. 一种电泳沉积方法,其特征在于,包括:提供一电泳槽,该电泳槽承装一电泳液;提供一阳极基板以及一阴极基板,该阳极基板包括至少一阳极电极,且该阴极基板包括至少一阴极电极;将该阳极基板与该阴极基板浸泡于该电泳液中,其中该阳极基板与该阴极基板是相对设置于该电泳槽中;调整该阳极基板与该阴极基板的相对位置,使得该阳极基板上各区域与相对应的该阴极基板上各区域间具有不相等的距离;以及分别输入阳极电压与阴极电压至该至少一阳极电极与该至少一阴极电极,以进行一电泳沉积。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:施文钦郑健民陈昱豪江美昭李怀安
申请(专利权)人:华映光电股份有限公司中华映管股份有限公司
类型:发明
国别省市:35

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