一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置制造方法及图纸

技术编号:6689394 阅读:270 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置,包括加热模块1,还包括均温板4,均温板4通过伸缩机构3与退火炉2连接,退火炉2上固定有加热模块1。该退火温度控制装置能够使得退火炉内部的温度和气流可控,具有结构简单易于利用的特点。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种玻璃退火温度控制装置,尤其是涉及一种用于TFT玻璃基板 的退火温度控制装置。
技术介绍
玻璃基板应力的大小是其一个重要性能参数,如果基板应力不能保证在合格范围 内,则在制造过程中会出现炸裂、变形等问题,而退火是有效消除应力的一个重要手段。目 前生产TFT玻璃基板的几种成熟的方法中,以溢流成型发最为流行,也相对的最为成熟,但 相对的该工艺对生产过程及生产环境的控制要求都很高,TFT玻璃基板领域内的退火设备 相比其它玻璃行业中使用的退火时设备要短的多,不便于多项调整,调整手段单一,无法达 到通过提高退火效果来有效消除应力的目的。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的缺点,本技术的目的在于提供一种用于TFT玻璃基 板的退火温度控制装置,该退火温度控制装置能够使得退火炉内部的温度和气流可控,具 有结构简单易于利用的特点。为了达到上述目的,本技术采用的技术方案为一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置,包括加热模块1,还包括均温板4,均 温板4通过伸缩机构3与退火炉2连接,退火炉2上固定有加热模块1。所述加热模块1为多个。本技术与现有技术相比具有以下优点1)使得退火炉内部的温度可控。2)使得退火炉内部的气流可控。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为本技术的使用状态图。具体实施方式以下结合附图对本技术做进一步详细说明。如图1、图2所示,一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置,包括加热模块1, 还包括均温板4,均温板4通过伸缩机构3与退火炉2连接,退火炉2上固定有加热模块1。 所述加热模块1为多个。本技术的工作原理为工作时,本技术等距分布在玻璃板5的两侧,当玻璃板5下流时利用退火的温 度控制装置中的加热模块1消除应力,并利用均温板4的位置变化控制成型设备内部气流。根据玻璃板5的内部应力,首先使用加热模块1对相应部位进行温度控制,如加热模块1功 率已降至零或升至最大限度,仍不能满足工艺使用要求时,则启动伸缩机构3,将均温板4 相对与玻璃板5进行移动,以改变退火炉2内的降温环境,使退火炉2腔体内温度上升或下 降,以达到改变工艺温度的目的。当利用伸缩机构3,调整均温板4的与与玻璃板5的相对 位置时,还可影响到成型设备内部的空气流东,并最终改变炉体内整体气流。权利要求1.一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置,包括加热模块(1),其特征在于,还包 括均温板G),均温板(4)通过伸缩机构(3)与退火炉(2)连接,退火炉(2)上固定有加热 模块⑴。2.根据权利要求1所述的一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置,其特征在于,加 热模块(1)为多个。专利摘要本技术公开了一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置,包括加热模块1,还包括均温板4,均温板4通过伸缩机构3与退火炉2连接,退火炉2上固定有加热模块1。该退火温度控制装置能够使得退火炉内部的温度和气流可控,具有结构简单易于利用的特点。文档编号C03B25/02GK201896128SQ20102058666公开日2011年7月13日 申请日期2010年10月28日 优先权日2010年10月28日专利技术者刘琎, 宁小永 申请人:陕西彩虹电子玻璃有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置,包括加热模块(1),其特征在于,还包括均温板(4),均温板(4)通过伸缩机构(3)与退火炉(2)连接,退火炉(2)上固定有加热模块(1)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘琎宁小永
申请(专利权)人:陕西彩虹电子玻璃有限公司
类型:实用新型
国别省市:61

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