下载一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置的技术资料

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本实用新型公开了一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置,包括加热模块1,还包括均温板4,均温板4通过伸缩机构3与退火炉2连接,退火炉2上固定有加热模块1。该退火温度控制装置能够使得退火炉内部的温度和气流可控,具有结构简单易于利用的特点。...
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