【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在诸如圆度测量装置、轮廓测量装置、和粗糙度测量装置的表面特性测量装置中控制测量力的测量力控制功能，该测量力是由接触触针推挤被测对象所产生的作用于被测对象的表面上。
技术介绍
在普通的圆度测量装置中，被测对象放置在旋转台上，被测对象的表面位置被接触触针检测的同时转动旋转台，使得被测对象的表面位置的数据被累积，由此测量和计算圆度。例如，专利参考1公开了一种装置，其控制用于通过使用接触触针来测量被测对象的表面形状的装置中的测量力，使得测量力恒定。如图10中所示，专利参考1中所公开的测量力控制装置包括触针102，在它的顶端(tip end)设置了与被测对象W相接触的接触部101 ；触针保持架104，使用支点构件103 作为支点(fulcrum)的同时旋转地支撑触针102 ；弹簧105，将触针102与触针保持架104 相结合；差动变换器106，检测触针102的旋转角度，由此检测被测对象W的表面位置；音圈电机(voice coil motor) 107，依照通电量对触针102施加围绕支点的旋转力；和控制组件 (controlling module) 108，用...
【技术保护点】
１．一种测量力控制装置，其控制由触针的接触部推挤被测对象产生的作用于被测对象的表面上的测量力，该装置包括：触针，在顶端具有接触部，接触部与被测对象相接触；触针保持架，配置来将触针保持在触针能够围绕作为支点的支点构件旋转的状态下；旋转角度检测组件，配置来检测触针的旋转角度；电磁驱动组件，配置来依照通电量向触针施加围绕支点的旋转力；和控制组件，配置来控制要提供给电磁驱动组件的通电量，其中，控制组件具有：目标旋转角度指令部，配置来设定触针的目标旋转角度，通电量确定部，配置来获得检测到的触针的旋转角度与目标旋转角度之间的差值，并且确定要提供给电磁驱动组件的以使得差值变为零的通电量，...
【技术特征摘要】
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