光学元件成型装置制造方法及图纸

技术编号:6672950 阅读:254 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及光学元件成型装置。为实现能够较容易对得以抑制了偏芯的光学元件进行成型的光学元件成型装置,本发明专利技术的光学元件成型装置的光检测器根据由分束器导向光检测器的光束来检测对向配置的上模及下模的倾斜角度,且根据由分束器导向光检测器的光束来检测上成型部和与其对向的下成型部之间的平行偏芯。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种通过成形模具的形状转印来使光学元件成型的光学元件成型装置
技术介绍
专利文献1中公开了一种在对向配置的模具支撑体上设置用以保持平行度的检 测单元的技术。然而,专利文献1的技术需要高精度地实现模具支撑体与模具之间的平行度,若 得不到该平行度,便会产生无法获得期望的检测精度的问题。另外,专利文献1的技术会产 生无法检测模具自身所产生的偏芯的问题。对此,为了解决所述问题,在专利文献2公开的技术中,设置了根据从模具反射的 反射光来检测模具间偏芯的机构。另外,在专利文献2的技术中,在上模设置有平面部,并 检测由该平面部所反射的反射光,由此来进行上模的倾斜调整(参照该文献中的图3)。(现 有技术文献)专利文献1 日本国专利申请公开公报,“特开昭63力卯450号公报;1988年12月1日 公开。专利文献2 日本国专利申请公开公报,“特开平4-34 号公报;1992年11月 27日公开。然而,专利文献2的技术无法应用于使光学元件阵列成型的模具。具体为,专利文 献2的技术会产生如下问题无法检测出光学元件阵列的成型用模具中的偏芯所特有的, 与环绕光轴的旋回方向(在与光轴垂直的面上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1. 一种光学元件成型装置,包括,成形模具,由设置有成型部及平坦部的模具对向配置而成,其中,所述成型部用以使光学元件的有效孔径成型,所述平坦部配置在所述成型部的周围;光检测器,用以检测对向配置的各模具的成型部彼此间的平行偏芯,该光学元件成型装置的特征在于:具备,平坦部反射机构,用以将入射的光束导向对向配置的各模具的平坦部,且将经各平坦部的反射而获得的光束导向所述光检测器;成型部反射机构,用以将入射的光束导向对向配置的各模具的成型部,且将经各成型部的反射而获得的光束导向所述光检测器,所述光检测器根据所述平坦部反射机构所导向光检测器的光束来检测对向配置的各模具的倾斜角度,并且根据所述成型部反射机构...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:重光学道花户宏之
申请(专利权)人:夏普株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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