本发明专利技术提供输送装置及涂布系统，能够将浮起的基板牢固地保持，并且将被保持的基板通过简单的结构使其整体变为平坦。其中，输送基板(W)的输送装置(40)包括：浮起载物台(1)，将基板浮起；吸附机构(3)，吸附被浮起的基板侧部底面(9)；输送驱动装置，通过移动吸附机构，将吸附机构所吸附的基板以浮起至规定高度(h)的状态输送。吸附机构包括：阻挡器(10)，具有接触面(11)，通过使基板侧部底面接触，使所述基板侧部定位在所述规定高度上；吸附垫(20)，能够吸附基板侧部底面，在吸附之前突出至接触面之上规定尺寸(S)，吸附之后向下收缩规定尺寸(S)。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种将基板浮起输送的输送装置以及对被浮起输送的基板涂布涂布液的涂布系统。
技术介绍
为了制造液晶显示器或等离子显示器等平板显示器或者是太阳能电池板，使用涂布液(如抗蚀剂)涂布于玻璃基板上的涂布基板。作为将涂布液涂布于这样的玻璃基板上的装置，例如，使用专利文献1中记载的涂布系统。该涂布系统包括输送装置，将玻璃基板浮起输送；涂布装置，具有对于被浮起输送的玻璃基板的上面排出涂布液的管口。输送装置包括浮起载物台，通过从上面喷射气体，使玻璃基板浮起来；吸附机构，吸附被浮起的玻璃基板的侧部；输送驱动装置，通过使该吸附机构朝向基板输送方向移动，由此输送被吸附机构吸附的玻璃基板。根据该涂布系统，通过浮起载物台将玻璃基板浮起至规定高度，并且通过输送驱动装置移动吸附玻璃基板侧面的吸附机构，由此将玻璃基板以被浮起的状态输送，并将涂布液涂布于玻璃基板上。专利文献1 特开2005-244155号公报(参照图2)
技术实现思路
玻璃基板的厚度相比于其面积非常薄，因此在浮起载物台上将玻璃基板浮起至规定高度时，例如，其侧部(仅为侧端部)以高于(虽然大概小于Imm)规定高度的方式呈弯曲形状。这是因为玻璃基板的侧面为自由端，所以通过从浮起载物台左右边缘喷射出来的气体使该侧部浮起得更高。另外，在涂布系统中，为了防止因涂布液的膜厚度不均勻而产生的涂布不均勻，在涂布涂布液时，最好使被浮起至规定高度的玻璃基板在整体上保持水平状态。为此，在所述吸附机构中，将吸附玻璃基板侧部底面的吸附面(顶面)的高度设定为与所述规定高度同样的高度。因此，如果玻璃基板弯曲成其侧部高于所述规定高度的形状，则存在下述担心在该侧部底面和吸附机构的吸附面之间形成间隙，因此吸附机构成为空的吸附，导致无法将玻璃基板牢固地吸附并保持。因此，为了吸附机构牢固地吸附玻璃基板，可以考虑以下方案。即，将吸附机构 (吸附面)事先配置在稍微高的位置上，或者通过执行装置将吸附机构移动到稍微高的位置上，以便吸附机构沿呈弯曲形状的玻璃基板的侧部。但是，在这种情况下，玻璃基板会以弯曲的形状被输送，玻璃基板和涂布装置的管头之间的间隙在不同的位置上不同，因此会发生涂布不均勻。因此，可以考虑下述构成将使吸附面配置在稍微高的位置的吸附机构在吸附之后使其下降。但是，即使想在吸附之后下降吸附机构以消除玻璃基板的弯曲，因为其下降量非常微小(小于1mm)，所以要实现这样微小的位置控制，也需要具有非常精密的结构和控制，这将导致装置的费用增加。另外，被浮起输送的玻璃基板中位置变高的部位不仅限于侧部，例如，在中心部位也可能发生。另外，根据输送装置的形式，各种部位可能变高。因此，本专利技术的目的在于，提供一种输送装置和涂布系统，所述输送装置能够将浮起的基板牢固地保持，并且能够通过简单的结构使整个基板形成为平坦，所述涂布系统能够将涂布液涂布于如上被保持而被浮起输送的基板上。根据本专利技术的输送装置，其特征在于，包括浮起载物台，将基板浮起；吸附机构， 吸附通过所述浮起载物台浮起的所述基板底面；输送驱动装置，通过使所述吸附机构朝向基板输送方向移动，由此将所述吸附机构所吸附的所述基板在浮起至规定高度的状态朝向基板输送方向输送，所述吸附机构包括定位部，具有接触面，通过使所述基板的所述底面接触，将基板定位在所述规定高度上；吸附部，能够吸附所述基板的所述底面，在吸附之前突出至所述接触面之上规定尺寸，在吸附之后向下收缩规定尺寸。根据本专利技术，由于吸附机构的吸附部在吸附基板底面之前，突出至高于定位部的接触面规定尺寸。例如，即使浮起至规定高度的基板发生弯曲而所述基板的一部分(吸附部的吸附部分)高于规定高度，吸附部也能够将该部分的底面吸附，因此能够牢固地保持基板。而且，如果吸附部将基板底面吸附，则由于吸附作用在吸附部内部产生负压，因此所述吸附部向下收缩所述规定尺寸，由此使所吸附的底面与定位部的接触面接触，将基板 (吸附的部分)定位在所述规定高度。另外，通过由所述定位部和所述吸附部构成的简单的结构，不仅能够将基板牢固地保持，而且使该基板在整体上变为平坦。另外，在所述定位部中最好设置吸引部，以吸引与所述接触面接触的所述基板底此时，吸引部能更有力地吸引由吸附部吸附的与定位部的接触面接触的基板底面，因此能够更加强有力地保持基板。特别是，当输送开始和停止时产生的加速度大时，可能会发生基板与吸附部一起在基板的面方向上略微振动的现象，而且，在基板和吸附部之间在输送方向上可能会稍微错位，但是通过吸引部能够抑制。另外，在所述吸附部中至少一部分具有上下方向自由伸缩的蛇腹结构的情况下， 如果吸附部吸附基板下面，则由于吸引作用在吸附部内部产生负压，由此吸附部容易收缩。 另外，如果解除吸附，吸附部可以恢复至突出在接触面之上的状态。另外，在一部分上设置蛇腹结构时，虽然蛇腹结构可以设置在吸附部的下部或者中心部，但将蛇腹结构设置在与基板接触的上端部时，由于上端部具有柔软性，所以能够提高与基板的紧贴性，能够提高吸附性能。另外，所述吸附机构沿着所述基板以规定间隔设置有多个，所述吸附机构的各所述接触面，最好设置在同一平面上。此时，由于设置有多个吸附机构，因此能够将基板更加强有力地保持。另外，为了强化基板的保持力，可以沿着基板连续地设置单一的长的吸附机构(接触面)，但是，在这种情况下，有必要将该吸附机构的接触面在整个长度方向的同一平面上制造和调整。但是， 在吸附机构以规定间隔设置有多个的情况下，由于接触面的高度可以各自调整，因此容易将全部接触面调整至同一平面上。另外，本专利技术的涂布系统，其特征在于，包括所述输送装置；涂布装置，具有排出口，在通过所述输送装置的所述浮起载物台将所述基板浮起至规定高度的状态下将涂布液排出在被所述输送驱动装置输送的所述基板的顶面。根据所述输送装置，如上所述，可以将基板牢固地保持，而且将基板可以定位在所述规定高度上。因此，针对基板顶面从涂布装置的排出口排出涂布液时，虽然将基板以规定高度浮起并输送，但由于针对所述基板的、由吸附机构吸附的部分也可定位在规定高度上， 因此可以将整个基板变为平坦。因此，可以将被浮起输送的基板和涂布装置的排出口之间保持规定的间隔，能够防止涂布不均勻的发生。另外，所述浮起载物台最好包括主单元，具有所述涂布装置将涂布液涂布于所述基板的涂布作业位置；副单元，在所述主单元的所述基板输送方向上设置在该主单元的上游侧和下游侧中的至少一侧。为了防止涂布不均勻，基板和涂布装置的排出口之间应保持固定的间隔，具有涂布作业位置的主单元优选基板浮起高度精度高的。另外，浮起高度的精度是指基板浮起量的偏差程度。例如，在浮起载物台使用从其上面喷射气体浮起基板的方式的情况下，根据气体喷射量的偏差产生的基板浮起量的偏差程度。即，所谓浮起高度精度高是指气体喷射量的偏差小，基板浮起量在整个过程为均勻。另外，主单元的上游侧和下游侧中至少一侧设置的副单元即使基板的浮起高度的精度稍微低，但对涂布不均勻不产生影响。因此，副单元可以采用精度低于主单元的，这对于浮起载物台来说，能够确保必要的长度情况下，可以降低其装置的成本。根据本专利技术的输送装置，通过吸附机构的定位部和吸附部，以简单的结构能够将基板牢固地保持，并且使整个基板平坦地保持。另外，根据本专利技术的涂布系统，将涂布液涂布本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种输送装置，其特征在于，包括：浮起载物台，将基板浮起；吸附机构，吸附通过所述浮起载物台浮起的所述基板的底面；输送驱动装置，通过使所述吸附机构向基板输送方向移动，由此使所述吸附机构所吸附的所述基板以浮起至规定高度的状态向基板输送方向输送，其中，所述吸附机构包括：定位部，包括通过使所述基板的所述底面接触来使所述基板定位在规定高度的接触面；吸附部，为了能够吸附所述基板底面，在吸附之前向上突出至高于所述接触面规定尺寸，吸附之后向下收缩至规定尺寸。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：滨川健史，森俊裕，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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