【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种将基板浮起输送的输送装置以及对被浮起输送的基板涂布涂布液的涂布系统。
技术介绍
为了制造液晶显示器或等离子显示器等平板显示器或者是太阳能电池板，使用涂布液(如抗蚀剂)涂布于玻璃基板上的涂布基板。作为将涂布液涂布于这样的玻璃基板上的装置，例如，使用专利文献1中记载的涂布系统。该涂布系统包括输送装置，将玻璃基板浮起输送；涂布装置，具有对于被浮起输送的玻璃基板的上面排出涂布液的管口。输送装置包括浮起载物台，通过从上面喷射气体，使玻璃基板浮起来；吸附机构，吸附被浮起的玻璃基板的侧部；输送驱动装置，通过使该吸附机构朝向基板输送方向移动，由此输送被吸附机构吸附的玻璃基板。根据该涂布系统，通过浮起载物台将玻璃基板浮起至规定高度，并且通过输送驱动装置移动吸附玻璃基板侧面的吸附机构，由此将玻璃基板以被浮起的状态输送，并将涂布液涂布于玻璃基板上。专利文献1 特开2005-244155号公报(参照图2)
技术实现思路
玻璃基板的厚度相比于其面积非常薄，因此在浮起载物台上将玻璃基板浮起至规定高度时，例如，其侧部(仅为侧端部)以高于(虽然大概小于Imm)规定高度的方式呈弯...
【技术保护点】
１．一种输送装置，其特征在于，包括：浮起载物台，将基板浮起；吸附机构，吸附通过所述浮起载物台浮起的所述基板的底面；输送驱动装置，通过使所述吸附机构向基板输送方向移动，由此使所述吸附机构所吸附的所述基板以浮起至规定高度的状态向基板输送方向输送，其中，所述吸附机构包括：定位部，包括通过使所述基板的所述底面接触来使所述基板定位在规定高度的接触面；吸附部，为了能够吸附所述基板底面，在吸附之前向上突出至高于所述接触面规定尺寸，吸附之后向下收缩至规定尺寸。
【技术特征摘要】
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