太阳能电池沉积用放电电极板阵列制造技术

本实用新型专利技术涉及一种太阳能电池沉积用放电电极板阵列，属于太阳能电池技术领域。太阳能电池沉积用放电电极板阵列包括由多个带屏蔽罩的电极板组件和信号馈入组件构成的电极板阵列，该电极板组件包括至少一对阴极板和一块阳极板，信号馈入组件的一个端面呈矩形，该矩形端面与电极板组件的馈入口面接触连接，馈入高频或甚高频功率电源信号至电极板组件的每块阴极板背面的中心区域下凹面内的馈入口。积极效果是克服了一点或多点馈入因馈线距离造成的损耗，在射频或甚高频功率电源驱动下可获得均匀电场大面积稳定放电，有效的消除了甚高频引发的驻波和趋肤效应，能够提高产率，降低成本。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种太阳能电池技术，确切的说一种由甚高频电源、2 . 12MHz 100MHz)驱动的硅基薄膜太阳能电池沉积室用放电电极板阵列。
技术介绍
目前，硅基薄膜太阳能电池，采用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)获取单结或多结的光电转换P-I-N膜层，在薄膜太阳能电池制造行业通用这种射频电容耦合平行电极板反应室。由电极板组件构成电极板阵列在反应室内进行等离子体化学气相沉积。射频电容耦合平行板电极反应室广泛应用于非晶硅、非晶硅锗、碳化硅、氮化硅、氧化硅等材料薄膜的大面积沉积。硅基薄膜太阳能电池是太阳能行业的一个重要分支，所采用的平行电极板容性放电模式是太阳能电池行业的核心技术之一。13. 56MHz射频广泛应用于非晶硅基薄膜材料的高速制备，生产效率高、工艺成本低。随着太阳能市场对娃基薄膜技术要求不断提高，微晶、纳米晶硅基薄膜材料受到行业高度关注。但是在微晶工艺环境下， 13. 56MHz射频波衍生的等离子体浓度小，沉积速率低，沉积足够厚度薄膜所需时间长，背景污染大，从而制备出的薄膜杂质含量高，光电学性能差，严重影响产品品质性能。如何高速沉积成为晶化硅基薄膜技术能够成功服务本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种太阳能电池沉积用放电电极板阵列，包括至少一个电极板组件、信号馈入组件，其特征在于还包括由多个带屏蔽罩的电极板组件和信号馈入组件构成的电极板阵列，该电极板组件包括至少一对阴极板和一块阳极板，信号馈入组件的一个端面呈矩形，该矩形端面与电极板组件的馈入口面接触连接，馈入高频或甚高频功率电源信号至电极板组件的每块阴极板背面的中心区域下凹面内的馈入口。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池沉积用放电电极板阵列，包括至少一个电极板组件、信号馈入组件， 其特征在于还包括由多个带屏蔽罩的电极板组件和信号馈入组件构成的电极板阵列，该电极板组件包括至少一对阴极板和一块阳极板，信号馈入组件的一个端面呈矩形，该矩形端面与电极板组件的馈入口面接触连接，馈入高频或甚高频功率电源信号至电极板组件的每块阴极板背面的中心区域下凹面内的馈入口。2.根据权利要求1所述的太阳能电池沉积用放电电极板阵列，其特征在于所述的电极组件的阳极板的两个面分别朝向对称放置的阴极板的有效放电工作面。3.根据权利要求1所述的太阳能电池沉积用放电电极板阵列，其特征在于所述的信号馈入组件包括由铜质馈入芯带和外表屏蔽层构成Z字形条状的信号馈入带。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：何祝兵，李毅，胡盛明，李志坚，王春柱，周建华，
申请(专利权)人：深圳市创益科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94