【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅太阳能电池的
,尤其是一种双次扩散选择性发射结硅太阳 能电池的扩散工艺。
技术介绍
太阳能电池是利用光伏效应原理把太阳辐射能转换成电能,太阳能电池本质上是 一个大面积半导体PN结的二结管。传统的太阳能电池制备方法对太阳能电池转换效率的 提升已经没有很大的空间,而选择性发射结可以实现太阳能电池转换效率的大幅度提升, 采用掩蔽膜双次扩散,可以实现选择性发射结。双次扩散是实现选择性发射结的途径,即在电极接触处,采用高浓度掺杂扩散工 艺,以降低串联电阻,提高填充因子,而在光吸收区采用轻浓度掺杂扩散工艺,可以降低少 数载流子的体复合几率,且可以进行较好的表面钝化,降低少数载流子的表面复合几率,从 而有效提高短路电流和开路电压,最终能够提高电池的光电转换效率。双次扩散工艺中,高浓度掺杂扩散工艺,其方阻均勻性,表面浓度都能较容易的控 制,而低浓度掺杂扩散工艺,以传统的扩散工艺,要同时得到低掺杂浓度的表面,及良好的 方阻均勻性(良好的方阻均勻性,可以提高电池片的电性能良率),比较困难。传统的扩 散工艺流程一般由进舟一升温一稳定一扩散一再分布一降温一出舟完成,扩散步骤和再分 布步骤采用同一温度完成,扩散和再分布在同一温度完成的结果是,要保证轻掺杂浓度,其 P0CL3 (通过化学反应,可以分解为磷元素的液态源)源流量不能大,否则浓度会高,但这样 会导致方阻均勻性会变得较差,影响电池片电性能参数的良率。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是为了克服现有技术中之不足,提供一种双次扩散选 择性发射结硅太阳能电池的扩散工艺。本专利技术解决其技术问题所采用的技 ...
【技术保护点】
一种双次扩散选择性发射结硅太阳能电池的扩散工艺,其工艺步骤为:(一)、将清洗好的硅片放入炉中,温度升温,向炉内通入氧气、氮气和三氯氧磷,进行扩散;(二)、停止通入三氯氧磷,继续通入氧气和氮气,将温度升温后,再进行分布。
【技术特征摘要】
1.一种双次扩散选择性发射结硅太阳能电池的扩散工艺,其工艺步骤为(一)、将清洗好的硅片放入炉中,温度升温,向炉内通入氧气、氮气和三氯氧磷,进行 扩散;(二)、停止通入三氯氧磷,继续通入氧气和氮气,将温度升温后,再进行分布。2.根据权利要求1所述的双次扩散选择性发射结硅太阳能电...
【专利技术属性】
技术研发人员:王庆钱,张映斌,徐华浦,
申请(专利权)人:常州天合光能有限公司,
类型:发明
国别省市:32[中国|江苏]
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