熔溶封装压阻式压力传感器制造技术

技术编号:6431243 阅读:245 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种熔溶封装压阻式压力传感器,包括传感器芯片和调校基板底座,所述传感器芯片采用共融玻璃粉熔溶封装在调校基板底座上。本实用新型专利技术采用硅熔融封装技术制造,使传感器芯片封装坚固牢靠、性能稳定,并且采用智能芯片信号调校电路,精度高、调校准确,参数可随机校准,工艺简单、调校方便,便于批量生产。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种熔溶封装压阻式压力传感器
技术介绍
目前国内外汽车供气系统、支气管压力测量、大气压力测量、废气循环控制、 充气压力测量及“ABS”防抱死系统均采用硅压阻式微压传感器,但硅压阻芯片采用粘 贴封装,其抗冲击震动性差。国内外汽车传感器输出信号采用模拟电路调校,调校精度 低,信号受外界环境影响大,标定校验麻烦,可靠性差。
技术实现思路
本技术解决的技术问题设计一种熔溶封装压阻式压力传感器,采用硅熔 融封装技术制造,使传感器芯片封装坚固牢靠、性能稳定,并且采用智能芯片信号调校 电路,精度高、调校准确,参数可随机校准,工艺简单、调校方便,便于批量生产。本技术采用的技术方案一种熔溶封装压阻式压力传感器,包括传感器芯 片和调校基板底座,所述传感器芯片采用共融玻璃粉熔溶封装在调校基板底座上。所述调校基板底座上集成有智能芯片信号调校电路。所述传感器芯片为杯式硅压阻芯片。本技术与现有技术相比的优点1、采用硅熔溶封装工艺,使芯片封装坚固牢靠、性能稳定;现有技术芯片固定 采用胶粘工艺,芯片封装牢固性差,性能稳定性差。2、采用智能芯片信号调校电路,其精度高、调校准确,参数可随机校准,工艺 简单、调校方便,便于批量生产;现有技术采用摸拟电路,其精度低、调校麻烦。附图说明图1为本技术的结构示意图。具体实施方式以下结合附图1描述本技术的一种实施例。一种熔溶封装压阻式压力传感器,包括传感器芯片1和调校基板底座3,传感器 芯片1采用共融玻璃粉2熔溶封装在调校基板底座3上,使传感器芯片封装坚固牢靠、性 能稳定。调校基板底座3上集成有智能芯片信号调校电路,传感器芯片1为杯式硅压阻 芯片。智能芯片信号调校电路对传感器芯片进行数字信号补偿,放大和智能调校,不仅 精度高,而且调校准确,参数可随机校准。所述调校基板底座3为双面印制电路板,生产工艺流程为元件贴片一熔溶烧 接一压焊引线。本技术主要用于汽车供气系统,支气管压力测量、大气压力测量、废气循环控制、充气压力测量及“ABS”防抱死系统的测量与控制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种熔溶封装压阻式压力传感器,包括传感器芯片(1)和调校基板底座(3),其特征是:所述传感器芯片(1)采用共融玻璃粉(2)熔溶封装在调校基板底座(3)上。

【技术特征摘要】
CN 2009-8-27 200920034346.81.一种熔溶封装压阻式压力传感器,包括传感器芯片(1)和调校基板底座(3),其特 征是所述传感器芯片(1)采用共融玻璃粉(2)熔溶封装在...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱胜志朱乐田锋
申请(专利权)人:宝鸡欧亚传感科技发展有限公司
类型:实用新型
国别省市:61

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