防潮的钢瓶磅秤制造技术

本发明专利技术涉及一种磅秤，尤其涉及一种防潮的钢瓶磅秤。这种防潮的钢瓶磅秤，在磅秤内部设有吹气管道，所述吹气管道与磅秤外部的供气管道相连接，所述吹气管道上分布有若干用于向磅秤内部吹气的吹气孔。本发明专利技术防潮的钢瓶磅秤，可以实现在磅秤内部进行氮气或干燥压缩空气吹扫，从而防止磅秤内部的凝结水产生，一方面，可以防止凝结水使得磅秤内部的电路烧毁或腐蚀，从而防止因磅秤失灵而引发钢瓶重量读值错误以致造成供气中断的严重后果；另一方面，可以使得磅秤的内部环境保持干燥，从而可以有效延长磅秤的寿命，减少了维护成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种防潮的钢瓶磅秤。
技术介绍
在半导体生产中需要大量使用氯气、氯化氢等十多种液化工艺气体钢瓶。目前，向 生产部门供应特殊气体的方法是将两个相同的液化气体钢瓶装在同一个气瓶柜内，其中 一个钢瓶处于供气状态，另一个气体钢瓶处于备用状态。在两个钢瓶的底部都放有特制的 电子磅秤来计量钢瓶内液化气体的重量，该磅秤ι的结构如图la、图Ib和图lc，所述磅秤 1由底板11和盖板12合围而成，所述盖板12的一个侧面设有供数据线穿过的通孔。当处 于供气状态的钢瓶内液化气体使用到重量的自动切换值(即将用空)时，磅秤会通过重量 传感器感知并发出钢瓶切换信号。此时用空的钢瓶会自动停止供气而另一侧处于备用状态 的钢瓶会自动投入使用，从而实现了连续、平稳地为半导体生产设备供应气体的目的。在供气过程中钢瓶内的液化气体需要由液态转变为气态，而这个物理状态变化过 程是一个吸热过程。因此，钢瓶的温度在这个吸热的过程中会显著降低。在湿度比较大的 季节，如夏季，钢瓶表面会因此产生大量的凝结水。磅秤内部也会凝结大量冷凝水，如长时 间不能清除，这些冷凝水将会将磅秤内部的电路烧毁或腐蚀。如此，不仅会造成磅秤损本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种防潮的钢瓶磅秤，其特征在于，在磅秤内部设有吹气管道，所述吹气管道与磅秤外部的供气管道相连接，所述吹气管道上分布有若干用于向磅秤内部吹气的吹气孔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张榕，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]