【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片的制造领域，特别涉及用于抛光硅锭的磨料纤维抛光盘、抛 光机。
技术介绍
随着太阳能电池产业的快速发展拉动了太阳能用硅片的市场需求。硅太阳能电池 用硅片的制造工序主要包括将单晶或多晶锭进行切方、抛光或者酸腐蚀、线切片、以及清洗 等步骤。其中，抛光或者酸腐蚀的作用是减少方形硅锭表面的机械损伤层，从而可以减少切 片时硅片边缘崩边，提高成品率。如果采用酸腐蚀的方式，则会产生大量含氟的废酸，不仅 会对环境造成污染，而且还非常难以处理。因此目前主要采用抛光的方法去除方形硅锭表 面的机械损伤层。目前所使用的抛光盘为刷子一样的抛光盘，其通过将嵌入有金刚石颗粒的尼龙丝 制成的带有磨料的磨料纤维，进而将大量该磨料纤维连续设置于抛光盘的圆周方向而制 成。利用该抛光盘抛光单晶硅锭或多晶硅锭，通过磨料纤维端面与硅锭表面高速相对运动， 磨料纤维中磨料研磨硅锭表面从而达到抛光效果。通过使用该抛光盘对硅锭进行抛光，避 免了以往采用研磨砂轮时由于研磨砂轮与硅锭之间的硬接触所造成的硅锭表面受损的问 题，同时大大提高了硅锭抛光镜面效果。经该方法抛光的单晶或多晶硅锭表面损伤层小，镜 面效...
【技术保护点】
一种磨料纤维抛光盘，其特征在于，包括：下安装盘；上安装盘，在所述上安装盘的圆周方向上间隔设置有多个孔，且所述上安装盘以可拆卸的方式安装于所述下安装盘之上；和磨料纤维束，所述磨料纤维束由多根带有磨料的纤维集束形成，且所述磨料纤维束被设置于所述上安装盘的所述孔内。
【技术特征摘要】
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