微波表面波等离子体炬制造技术

本实用新型专利技术公开了一种微波表面波等离子体炬，包括矩形波导，矩形波导一端安装有微波产生传输装置，另一端安装有微波匹配装置，矩形波导一个侧壁上设置有凸起的通道压缩块，侧壁还安装有旋转进气环，旋转进气环上安装有点火器；还包括有垂直于矩形波导另一侧壁的介质管，介质管依次穿过矩形波导另一侧壁与通道压缩块相对的位置、通道压缩块后，与旋转进气环连通，介质管与旋转进气环同轴，介质管外套有与介质管同轴的圆波导。本实用新型专利技术产生的等离子体既是高能量密度的，也是足够洁净的等离子体，将能够满足十分重要的高科技领域的需求。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及等离子体炬领域，具体为一种微波表面波等离子体炬。
技术介绍
等离子体炬在焊接、喷涂和材料合成等领域取得了卓有成效的应用，但这种等离 子体炬一般是用直流和交流电源激发的。由于是有极放电，不但电极寿命短，而且电极对 等离子体的污染是许多应用领域，例如，微电子，高纯材料制造和光谱分析等领域不能接受 的；射频等离子体炬由于采用了电感耦合无极放电的形式，电极污染问题得到了很好的解 决，但射频等离子体炬的耦合效率低，很难应用于要求产生高效和高能密度等离子体的领 域。近年来由于高科技应用领域的牵引，微波等离子体炬得到了充分的发展，也出现了相 应的一些专利，如申请号02144899.X和申请号200580016015.6的两个专利。但这两个专 利，前者用具有内导体的介质波导/同轴转换器耦合微波功率，使得内导体浸渍在等离子 体中；后者放电就在压缩波导的微波电场的最大区域，使放电等离子体仍然与金属波导管 直接接触。虽然这两种微波放电与直流和交流等离子体炬有极放电机制有区别，但由这两 种微波等离子体炬产生的高能量密度等离子体的洁净度显然比不上射频电感耦合的，因为 电感耦合等离子体炬的电感线圈本文档来自技高网...

【技术保护点】
微波表面波等离子体炬，包括矩形波导，所述矩形波导一端安装有微波产生传输装置，矩形波导的另一端设置有活塞，活塞杆穿过矩形波导另一端伸入波导腔中与活塞连接，其特征在于：所述矩形波导一个侧壁上设置有凸起的通道压缩块，所述侧壁对应所述通道压缩块的中央位置还垂直于所述侧壁安装有带进气口的旋转进气环，所述进气口的轴线与旋转进气环相切，所述旋转进气环的轴线上安装有点火器；还包括有垂直于矩形波导另一侧壁的介质管，所述介质管依次穿过所述矩形波导另一侧壁与通道压缩块相对的中央位置、通道压缩块后，与旋转进气环连通，所述介质管与所述旋转进气环同轴，介质管外套有与介质管同轴的圆波导，所述圆波导安装在所述矩形波导的另一侧...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：任兆杏，任炟，刘静，
申请(专利权)人：合肥飞帆等离子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：34[中国|安徽]