一种单面抛光机挂钩制造技术

本发明专利技术公开了一种单面抛光机挂钩，包括：固定部分，安装在抛光头平板上；滑动部分，与固定部分连接，可延固定部分滑动；卡钳，包括不锈钢材质的卡簧和特氟龙塑料材质的卡钩，卡钩连接在卡簧的后端；卡簧可延支架的旋转轴转动，支架连接在固定件上；连接杆，陶瓷盘贴至抛光头时对连接杆作用，使连接杆向上移动，连接杆带动卡簧延旋转轴转动，收紧卡勾；滑动部分与卡簧的前端接触，滑动时带动卡簧延旋转轴转动，使卡勾张开。本发明专利技术的单面抛光机挂钩通过采用不锈钢材质的卡簧和特氟龙塑料材质的卡钩，既避免了陶瓷掉渣，又减弱了特氟龙变形、磨损的损耗，减小了由于抛光头与陶瓷盘接触不可靠造成的各种损失。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体晶片材料加工
，特别是涉及一种单面抛光机挂钩。
技术介绍
在砷化镓晶片的粘蜡单面抛光工艺中，必须先将砷化镓晶片与陶瓷盘粘贴，然后将粘有晶片的陶瓷盘面向下倒挂，在粗、细抛光机抛光头上进行抛光。陶瓷盘是由致密的粘土材料在高温下烧结而成，具有沉稳、密度大的特点。目前，一般使用的陶瓷盘直径为30cm，厚度为2cm，重量约5kg，应用在半导体晶片加工领域。由于半导体应用领域对晶片表面粗糙度、平整度、边缘完整性等参数要求很高，对陶瓷盘的使用及更换也提出了很高的要求。抛光前砷化镓晶片是经用金刚砂研磨、化学试剂处理过的晶片，称为化学抛光片。由于砷化镓材料和加工过程中所用的辅料相当昂贵，粘片前的晶片挑选工作、陶瓷盘的妥当使用是十分必要的。首先化学抛光片要通过专业人员的检验，将表面平整度差的、肉眼观察有宏观缺陷的化抛片筛选剔除；然后将化学抛光片按要求厚度分档放在多片盒里并记录；其次将要贴片的陶瓷盘放到加热平台上开始加热(在比较高的温度下用来粘牢砷化镓晶片的蜡，在冷却后，可以发挥较佳的粘接效果)，用蘸有异丙醇的纸抹布将陶瓷盘表面擦拭干净后，用注射器排出0.4～0.6ml液体蜡，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单面抛光机挂钩，其特征在于，所述挂钩包括：固定部分，安装在抛光头平板上；滑动部分，与所述固定部分连接，可延所述固定部分滑动；卡钳，包括不锈钢材质的卡簧和特氟龙塑料材质的卡钩，所述卡钩连接在所述卡簧的后端；所述卡簧可延支架的旋转轴转动，所述支架连接在所述固定件上；连接杆，陶瓷盘贴至抛光头时对所述连接杆作用，使所述连接杆向上移动，所述连接杆带动所述卡簧延旋转轴转动，收紧卡勾；所述滑动部分与所述卡簧的前端接触，滑动时带动所述卡簧延旋转轴转动，使卡勾张开。

【技术特征摘要】
1.一种单面抛光机挂钩，其特征在于，所述挂钩包括：固定部分，安装在抛光头平板上；滑动部分，与所述固定部分连接，可延所述固定部分滑动；卡钳，包括不锈钢材质的卡簧和特氟龙塑料材质的卡钩，所述卡钩连接在所述卡簧的后端；所述卡簧可延支架的旋转轴转动，所述支架连接在所述固定件上；连接杆，陶瓷盘贴至抛光头时对所述连接杆作用，使所述连接杆向上移动，所述连接杆带动所述卡簧延旋转轴转动，收紧卡勾；所述滑动部分与所述卡簧的前端接触，滑动时带动所述卡簧延旋转轴转动，使卡勾张开。2.如权利要求1所述的单面抛光机挂钩，其特征在于，所述固定部分包括固定件和第二垫片，所述固定件安装在抛光头平板上，所述第二垫片安装在所述固定件上，所述第二垫片内部开有一个矩形通孔。3.如权利要求2所述的单面抛光机挂钩，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭明，王建利，李宁，孙楠，杜春浩，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十六研究所，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]