【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板超声波清洗机,其包括超声波振荡装置、超声波冲洗装置、冲洗液供给装置以及保持机架,所述超声波冲洗装置内设置压电振子,其特征在于:所述冲洗装置与保持机架之间设置有超声波传播体,所述超声波传播体与保持机架之间设置冲洗液供给装置。
【技术特征摘要】
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