本发明专利技术提供了一种安装装置，包括底座，侧壁，抵住件，支撑件和弹簧。其中，底座具有第一通孔及第二通孔；侧壁上具有一容置空间，放置斜面基座，基座表面具有四个螺丝孔；抵住件包括螺设于所述第一通孔内的调节件，以及设置于所述调节件之上的抵住部，并藉由调节件调节其高低；支撑件，用来承载与基座结合的电极，包括螺设于所述第二通孔内的支撑柱，以及设置于所述支撑柱之上的支撑板；弹簧，设置于所述抵住部及所述支撑板之间。采用本发明专利技术的安装装置，可以减少安装人力，降低器械损耗，更加简便、准确的完成安装。
Mounting device
The present invention provides an installation device comprising a base, a side wall, a support member, a support member, and a spring. Among them, the base has a first through hole and the two through hole; the side wall is provided with an accommodating space, placing the inclined base, the base surface with four screw holes; against the adjusting element includes a screw is arranged in the first through hole, and is arranged in the regulation against the parts above, and by adjust the height adjusting element; support for bearing the electrode and the base and comprises a screw arranged on the support column through second holes, and is arranged on the supporting plate on a pillar; the spring is arranged on the resist and the support plate. By adopting the installation device of the invention, the installation manpower can be reduced, the equipment loss can be reduced, and the installation can be completed more conveniently and accurately.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种安装装置，尤其是涉及干式蚀刻电极安装的一种安装装置。
技术介绍
在一般的安装装置中，要把干式蚀刻机的电极安装到斜面基座上，至少需要两个工作人员一起完成。电极体积、重量都比较大，一个工作人员难以独自完成安装工作，需要一个工作人员扶着电极，另一个工作人员用脚顶住电极下方，一起将电极装到斜面基座上。 这样一来，原本清理干净的安装平台就会因为鞋子的污染而粘上尘粒，需要再次清理。另外，在锁上电极时与基座螺丝孔不太好对准，长此以往，很容易造成电极孔与基座螺丝孔的损耗。不仅浪费人力资源，对机械的长久使用也没有好处。有鉴于此，设计出一种耗费资源少，操作起来又简单准确的电极安装装置势在必行。
技术实现思路
针对现有电极安装装置耗费人力，不清洁，精确度不高的问题，本专利技术提供一种安衣衣且。根据本专利技术，提供一种安装装置，包括底座，侧壁，抵住件，支撑件和弹簧。其中，底座具有第一通孔及第二通孔；侧壁上具有一容置空间，放置斜面基座，基座表面具有四个螺丝孔；抵住件包括螺设于所述第一通孔内的调节件，以及设置于所述调节件之上的抵住部， 并藉由调节件调节其高低；支撑件，用来承载与基座结合的电极，包括螺设于所述第二通孔内的支撑柱，以及设置于所述支撑柱之上的支撑板；弹簧，设置于所述抵住部及所述支撑板之间。优选地，安装装置的第一通孔有两个，分别位于所述第二通孔的两边；优选地，安装装置的基座表面上的螺丝孔位于所述基座上下左右四个方位；优选地，安装装置的基座表面上的螺丝孔未穿透所述基座；优选地，安装装置的调节件上部具有钢珠，下部具有六角扳手孔；优选地，安装装置的抵住部与所述底座之间具有一定的距离；优选地，安装装置的支撑柱位置不可调节；优选地，安装装置的支撑板可承载一块以上的电极；优选地，安装装置的弹簧承重为10公斤至20公斤；优选地，安装装置的弹簧依重量需要可更换。采用本专利技术的安装装置，不仅可以把参与安装的工作人员数量控制在一人以内， 还可以避免因使用脚力造成的机械污染，同时，精准的微调设置可大大减少人力安装时造成的机械损耗，将成本降到最低。附图说明读者在参照附图阅读了本专利技术的具体实施方式之后，将会更清楚地了解本专利技术的各个方面。其中，图1示出了依据本专利技术，安装装置的示意图；图2示出了依据本专利技术，安装装置上锁的示意图。具体实施例方式下面参照附图，对本专利技术的实施方式作进一步的详细描述。图1示出了安装装置的示意图。如图所示，此安装装置包括底座100，底座100上具有第一通孔101和第二通孔102 ；侧壁200，侧壁200具有一容置空间，用于安放基座600， 基座600上具有螺孔802用于电极的固定；抵住件300，包括螺设于第一通孔101内的调节件301，以及设置于调节件301之上的抵住部302，抵住部302藉由调节件301调节其高低； 支撑件400，包括螺设于第二通孔102内的支撑柱401，以及设置于支撑柱401之上的支撑板402，其中，支撑板402用于放置带有螺孔801的电极700。在此，调节件301具有螺纹321与第一通孔101内的螺纹(未绘示)螺合，元件钢珠311存在于调节件301上部，调节件301下端具有六角扳手孔(未绘示)，藉由六角扳手插入六角扳手孔转动调节件301，使螺纹321在第一通孔101内的螺纹上转动而升降调节件 301，以调整抵住件300的高度。将所需电极700放置于支撑板402上后，支撑板402受力，弹簧500承重压缩，抵住部302应力下沉，在本实施例中，该安装装置的较佳使用状态是放置电极700后，电极700 上的螺孔801略高于基座600上的螺孔802，如果此时电极700上的螺孔801位置大大低于基座600上螺孔802的位置时，上调调节件301带动抵住部302上升，通过弹簧500和支撑板402的受力传导，至电极700上的螺孔801略高于基座600上的螺孔802时停止。弹簧 500的选用可根据电极700的重量而选用不同承重能力的弹簧，一般而言，选用弹簧的承重能力为10公斤至20公斤。若放置电极700后，电极700上的螺孔801位置大大高于基座600上螺孔802的位置，可更换承重力小的弹簧，或籍由调节件301下调抵住部302，调整至电极700上的螺孔 801略高于基座600上的螺孔802。亦可同时安装具有不同承重力的弹簧，以方便操作。当电极700上的螺孔801位于略高于基座600上的螺孔802时，如图2所示，在一个安装工人的操作下，按压电极700，借助弹簧500的弹性微调电极700高度，就可以使螺丝 900准确穿过螺孔801和螺孔802将电极700与基座600锁住。由此，借助本专利技术所示的安装装置，可将工作量大大减少，安装工作人员可由两人改为一人，并且避免脚踩带来的器械污染，同时准确的微调装置降低了人工安装过程中因螺丝孔对不准的问题而带来的机械耗损。上文中，参照附图描述了本专利技术的具体实施方式。但是，在本领域中的普通技术人员能够理解，不偏离本专利技术的精神和范围的情况下，还可以对本专利技术的具体实施方式作各种变更和替换。这些变更和替换都落在本专利技术权利要求书限定的范围内。权利要求1.一种安装装置，其特征在于，包括 底座，所述底座具有第一通孔及第二通孔；侧壁，所述侧壁上具有一容置空间容置一基座，所述基座表面具有四个螺丝孔； 抵住件，包括调节件，螺设于所述第一通孔内；以及抵住部，设置于所述调节件之上，藉由所述调节件调节所述抵住部的高低；支撑件，承载与所述基座结合的电极，包括支撑柱，螺设于所述第二通孔内；以及支撑板，设置于所述支撑柱之上；以及弹簧，所述弹簧设置于所述抵住部及所述支撑板之间。2.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述第一通孔有两个，分别位于所述第二通孔的两边。3.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述基座表面上的螺丝孔位于所述基座上下左右四个方位。4.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述基座表面上的螺丝孔未穿透所述基座。5.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述调节件上部具有钢珠，下部具有六角扳手孔。6.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述抵住部与所述底座之间具有一定的距离。7.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述支撑柱位置不可调节。8.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述支撑板可承载一块以上的电极。9.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述弹簧承重为10公斤至20公斤。全文摘要本专利技术提供了一种安装装置，包括底座，侧壁，抵住件，支撑件和弹簧。其中，底座具有第一通孔及第二通孔；侧壁上具有一容置空间，放置斜面基座，基座表面具有四个螺丝孔；抵住件包括螺设于所述第一通孔内的调节件，以及设置于所述调节件之上的抵住部，并藉由调节件调节其高低；支撑件，用来承载与基座结合的电极，包括螺设于所述第二通孔内的支撑柱，以及设置于所述支撑柱之上的支撑板；弹簧，设置于所述抵住部及所述支撑板之间。采用本专利技术的安装装置，可以减少安装人力，降低器械损耗，更加简便、准确的完成安装。文档编号B25B27/14GK102152278SQ201110047038公开日2011年8月17日 申请日期2011年2月24日 优先权日2011年2月24日专利技术者巩合浩, 杨世雄, 童郁凯 申请人:友达光电股本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种安装装置，其特征在于，包括：底座，所述底座具有第一通孔及第二通孔；侧壁，所述侧壁上具有一容置空间容置一基座，所述基座表面具有四个螺丝孔；抵住件，包括：调节件，螺设于所述第一通孔内；以及抵住部，设置于所述调节件之上，藉由所述调节件调节所述抵住部的高低；支撑件，承载与所述基座结合的电极，包括：支撑柱，螺设于所述第二通孔内；以及支撑板，设置于所述支撑柱之上；以及弹簧，所述弹簧设置于所述抵住部及所述支撑板之间。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨世雄，巩合浩，童郁凯，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71
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