The ultraviolet laser of the invention relates to a multiple cavity frequency conversion, which belongs to a laser relates to the technical field of the laser, which comprises a pumping source, transmitting energy fiber, coupling system, the fundamental gain medium crystal, resonant cavity reflector, a focusing lens, reflective focusing mirror, three harmonic nonlinear crystal, pump the fundamental gain medium crystal using semiconductor pump source, the fundamental gain medium crystal formation of fundamental beam output stimulated radiation in the mode selection of resonant cavity, laser pulse formation in the modulator under the action of the fundamental laser beam focused on two harmonic crystal by laser focusing mirror, laser generated, and the remaining the fundamental laser is focused onto the three harmonic crystal and frequency, three harmonic generation laser, laser and the remaining two fundamental harmonic laser is focused again to The frequency output of the three harmonic laser is generated in the second and the frequency crystal, and the conversion rate of the fundamental laser to the three harmonic laser is increased by two frequency conversion.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种多次腔外频率变换的紫外激光器，属于激光
所涉及的一种激光器。技术背景LD泵浦全固态激光器从二十世纪八十年代以来获得长足的进步，紫外激光器因其在荧光检测、精细加工、光刻等方面的应用，一直以来就是人们研究的热点。从微光刻到打标和打印，紫外激光器的应用是目前工业激光市场增长最快的部分，紫外光加工材料过程称为光蚀效应，是由于紫外光的高能量光子可以直接破坏材料的化学键是“冷”处理过程， 热影响区域微乎其微；相比之下，可见光和红外激光器利用聚焦到加工部位的热量来熔化材料，热量经过传导会影响到周围的材料，产生热影响区域。良好的聚焦性能和冷处理两个优点结合在一起，使得紫外激光器可以加工极其微小的部件，并且大多数材料都能够有效地吸收紫外光，从而紫外激光器有更高的灵活性和更广的应用场合，可以用来加工红外和可见光激光加工不了的材料。实现紫外激光的方式很多如气体激光、全固态激光等，但气体激光器存在系统庞杂、需要定期维护等缺点，而逐渐被LD泵浦的全固态紫外激光器取代， 全固态紫外激光器成为激光研究的重要方向。全固态紫外激光器分为腔内频率变换的紫外激光器和内腔频率变换的紫外激光器，内腔频率变换的紫外激光器效率较高，但存在很多缺点，如稳定性差、脉冲稳定性不好、 光束质量不好等等，所以目前市场上产品化的紫外激光器都采用腔外频率变换来实现，如 CoherentNewport等国际大的激光公司都采用外腔频率变换技术，但由于腔外光功率密度低，一般情况下腔外频率变换的基波到三次谐波的转换率都比较低，小于40%。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提高腔外频率变换的基波到...
【技术保护点】
１．一种多次腔外频率变换的紫外激光器，其特征在于：半导体泵浦模块（１）输出泵浦光，经过传能光纤（２）传输到耦合系统（３）（４）中，经过（３）和（４）的准直聚焦作用，将泵浦光聚焦到基波增益介质晶体（７）中，基波增益介质晶体（７）开始形成自发辐射，通过（５）（６）和（９）构成基波的激光谐振腔的选模作用，最终形成基波激光输出，通过调制器（８）可形成脉冲的基波激光输出，基波输出的激光经过聚焦镜（１０）将基波聚焦到倍频晶体（１１）中，形成二次谐波激光输出，二次谐波激光和剩余的基波激光被反射聚焦镜（１２）聚焦到三次谐波产生晶体中形成三次谐波激光输出，剩余的基波激光和二次谐波激光再次通过反射聚焦镜（１４）再次被聚焦到第二块三次谐波产生晶体（１５）中再次形成三次谐波激光输出。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李斌，孙冰，
申请(专利权)人：天津梅曼激光技术有限公司，
类型：发明
国别省市：12
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