一种直流电加热CVD法制备碳化硅纤维的装置和制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于碳化硅纤维制备技术，涉及对采用直流电加热法制备碳化硅纤维的装置和制备方法的改进。本发明专利技术的制备装置包括放丝盘[6]、收丝盘[7]、玻璃管制造的预处理室[8]、玻璃管制造的涂层室[9]、位于预处理室[8]与涂层室[9]之间的沉积室[10]和水银封[5]，其特征在于，在预处理室[8]与涂层室[9]之间设有2～4个沉积室[10]，在相邻的沉积室[10]之间设有水银封[5]。本发明专利技术提出了一种具有多沉积室的直流电加热法制备碳化硅纤维的装置和制备方法，减小了沉积室前后端的温差，提高了SiC涂层组织的均匀性；通过控制各个沉积室的温度，实现了沉积温度相差较大涂层的涂覆；提高了气体在沉积室内混合的均匀度，减少了气体杂质对沉积过程的影响，保证纤维的性能。

Device for preparing silicon carbide fiber by DC electric heating CVD method and preparation method thereof

The invention belongs to the preparation technique of silicon carbide fibers, and relates to a device for preparing silicon carbide fibers by using a direct current heating method and an improvement of the preparation method thereof. The present invention relates to a preparation device including wire coil [6], spinning disc [7], glass tube manufacturing pretreatment chamber, [8] glass tube manufacturing [9], located in the coating chamber between pretreatment chamber [8] and [9] chamber coating deposition chamber [10] and mercury seal [5], which is characterized in that between the pretreatment chamber and [8] the coating chamber is provided with 2~4 [9] [10] in the deposition chamber, between adjacent deposition chamber with [10] mercury [5]. The invention provides a multi deposition chamber DC synthesis of silicon carbide fiber by heating device and preparation method, reduce the temperature difference between before and after the end of the deposition chamber, and improve the uniformity of SiC coating; through the control of each deposition chamber temperature, the coating deposition temperature difference coating improves the uniformity; the degree of mixed gas in the deposition chamber, reduces the influence of gaseous impurities on the deposition process, to ensure the performance of the fiber.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于碳化硅纤维制备技术，涉及对采用直流电加热法制备碳化硅纤维的装 置和制备方法的改进。
技术介绍
SiC纤维具有高强度和高硬度，高的热稳定性和耐氧化性，低热膨胀系数和低密度 的优点。也是近些年来发展较快的一种新型陶瓷材料。将上述特征的SiC制成纤维，是高 温陶瓷基复合材料的最佳增强材料可以广泛的用于制备高性能复合材料的增强纤维。SiC纤维增强Ti基复合材料集SiC长纤维的高强度、高刚性和高抗蠕变性与钛合 金的损伤容限性于一体，并且SiC纤维可以降低材料的密度，可以有效的利用这种高温下 能承受极大机械载荷的轻质材料制备发动机主体构件。如今，SiC纤维增强Ti基复合材料 已在航空航天领域得到了广泛的应用，发动机叶环、空心翼片、压缩机转子、箱体结构件，连 接件以及传动机构等。因此SiC纤维的性能成为了复合材料性能的主要影响因素，如拉伸性能，与基体 之间的界面相容性等。目前，适用于Ti合金的大直径、高性能SiC纤维均为钨芯SiC纤维(以直径为 13 μ m的连续W丝作为CVD沉积载体)和碳芯SiC纤维(直径为33 μ m的连续C丝作为CVD 沉积载体)，其中碳芯SiC纤维具有更小本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种直流电加热ＣＶＤ法制备碳化硅纤维的装置，包括放丝盘［６］、收丝盘［７］、玻璃管制造的预处理室［８］、玻璃管制造的涂层室［９］、位于预处理室［８］与涂层室［９］之间的沉积室［１０］和水银封［５］，在预处理室［８］的入口、预处理室［８］与邻接的沉积室［１０］之间、沉积室［１０］与邻接的涂层室［９］之间以及涂层室［９］的出口都设有水银封［５］，在预处理室［８］、涂层室［９］和沉积室［１０］上都有进气口［２］和出气口［３］，放丝盘［６］上的碳芯或者钨芯［１］穿过预处理室［８］入口的水银封［５］进入预处理室［８］进行预处理，然后穿过预处理室［８］与邻接的沉积室［１０］之间的水银封［５］进入沉积室...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄浩，陈大明，仝建峰，王岭，李宝伟，焦春荣，
申请(专利权)人：中国航空工业集团公司北京航空材料研究院，
类型：发明
国别省市：11