下载一种直流电加热CVD法制备碳化硅纤维的装置和制备方法的技术资料

文档序号:6055330

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本发明属于碳化硅纤维制备技术,涉及对采用直流电加热法制备碳化硅纤维的装置和制备方法的改进。本发明的制备装置包括放丝盘[6]、收丝盘[7]、玻璃管制造的预处理室[8]、玻璃管制造的涂层室[9]、位于预处理室[8]与涂层室[9]之间的沉积室[1...
该专利属于中国航空工业集团公司北京航空材料研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国航空工业集团公司北京航空材料研究院授权不得商用。

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