【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，用于微光机电系统电路的非接触控制。
技术介绍
随着微纳米技术的发展，微光机电系统(micro-optical-electro-mechanical system, M0EMS)作为微纳米技术中一个重要的分支，已在世界各国得到迅速发展，并在诸 多领域获得广泛应用。微驱动器是众多MOMES中的重要组成部分，按驱动原理的不同，常见 驱动器可分为电磁驱动型、静电驱动型、压电驱动型、热膨胀驱动型等。微开关是微驱动器 众多应用中的一种。接触式微开关的功耗低、隔离度高、线性度好，并且可以和其他电子器 件集成，因此正日益成为人们研究的热点。利用电磁驱动、静电驱动、压电驱动或者电热膨胀驱动来实现开关功能，虽然在诸 多场合得到广泛应用，但却不可避免地需要引入外部驱动电路。为此，本专利技术借鉴电热驱动 原理，采用激光作为驱动源，将激光束进行准直聚焦后照射到金属光热驱动微开关的驱动 臂上，利用金属的光热膨胀效应使金属微开关发生形变，从而实现开关功能，无需引入外部 驱动电路，可以利用激光直接对微开关进行非接触控制。而且本专利技术中的金属光热驱动微 开关采用同步辐射LIGA...
【技术保护点】
一种金属光热驱动微开关，其特征在于包括激光器（１）、聚焦透镜（２）、下基底（３）、微悬臂（４）、中心圆盘（５）、悬臂触点（６）、基底触点（７）、上基底（８）；下基底（３）上顺次设有微悬臂（４）、中心圆盘（５）、悬臂触点（６）；基底触点（７）位于上基底（８）上，激光经激光器（１）和聚焦透镜（２）准直聚焦后照射到金属光热驱动微开关的中心圆盘（５）上，中心圆盘（５）吸收激光的能量，向微悬臂（４）传导热量，微悬臂（４）局部温度升高后向上伸长，从而使悬臂触点（６）与基底触点（７）接触，实现开关功能。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张冬仙，赵冬伟，章海军，伊福廷，王波，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86
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