一种精密空间定位和调整装置制造方法及图纸

一种精密空间定位和调整装置，包括圆环平板（１）、圆筒（２）、平板（４）、第一定位销（３）、第二定位销（５）和Ｒｚ调整装置（６），其中圆筒（２）安装在圆环平板（１）上，平板（４）固定在圆筒（２）上，第一定位销（３）和第二定位销（５）安装在平板（４）的两个销孔内，Ｒｚ调整装置（６）安装在圆环平板（１）上。该装置结构简单，调整快速高效，定位精度高，能节约成本，提高工作效率。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种空间定位和调整装置，尤其涉及一种精密仪器的空间 定位和调整装置。
技术介绍
目前的一些大型设备(如卡车、轮船、机床等)中，重要零件之间的机械安装精度多采用销孔直接定位，如授权号为CN200520009290.2的中国专利，公 布了一种用于发电机装配的定位装置，由底板、支架、限位板以及定位销等组 成，定位采用销孔直接定位的方法，但是由于零件制造及组件装配存在误差， 无法保证底板的销孔与限位板定位销位置的准确对应，因此在装配被安装零件 时要么无法装配，要么定位精度不高。如果安装集成电路制造设备光刻机的C型板在支撑支架上也采用类似结构 直接定位，由于间距较大(>=1000mm),同时受安装尺寸及形状的限制，其支 撑支架销孔加工难度大，且精度不易保证，因此无法满足C型板对安装基准X， Y， Rz的安装精度要求。
技术实现思路
本技术为解决定位精度不高的问题，提供了 一种精密空间定位和调整 装置，其结构简单，调整快速高效，定位精度高。为达到上述技术效果，本技术采用以下结构一种精密空间定位和调整装置，包括圓环平板、圓筒、平板、第一定位销 和第二定位销，其特征在于该装置还包括Rz调整装置，其中圓筒安装在圓环平 板上，平板固定在圆筒上，第一定位销和第二定位销安装在平板的两个销孔内， Rz调整装置安装在圓环平板上。其中Rz调整装置包括偏心销，圆环平板有U型槽面，其中偏心销安装在U型槽面中。其中圆环平板的下端有第一下圆柱面，上端有第一上圆柱面，第一下圆柱 面和第一上圓柱面轴心相同，圆环平板有一个调整Rz定位精度的第一侧面，平 板有一个调整Rz定位精度的第二侧面。本技术由于采用了上述技术，使之与现有技术相比具有以下优点和积极效果1、 圓环平板的第一侧面用于测量与主基板基准面之间的平行度，来调 整Rz精度；2、 圓环平板的第一下圆柱面与主基板对应圆柱面配合，通过限制X, Y的自由度，来确保X, Y的精度；3、 安装在平板上的第一定位销和第二定位销，用于安装定位C型板的 X， Y, Rz的精度。附图说明图l是精密空间定位和调整装置的立体图； 图2是Rz调整装置的立体图； 图3是精密空间定位和调整装置的正视图； 图4是^"密空间定位和调整装置俯视图。具体实施方式以下结合附图1， 2， 3, 4,对本技术做详细的说明。 本技术包括圓环平板1、圆筒2、平板4、第一定位销3、第二定位销5 和Rz调整装置6。圓环平板1有轴心相同的第一下圓柱面101和第一上圓柱面 104,可通过第一下圓柱面101与主基板(未标出)对应圓柱面配合，卩艮制X, Y自由度，因此可确保X、Y精度。圆环平板1上有与第一下圓柱面101有位置 精度关系的第一侧面102,用于测量与主基板(未标出)基准面之间平行度的基 准平面，可根据测量的平行度调整Rz精度。圓筒2通过与第一上圓柱面104及 第一平面103定位安装在圓环平板1上。平板4通过圓筒2的第一圓柱面108 及第二平面107定位紧固安装连接。平板4有与销孔圆柱面106和第二圓柱面109及第一圓柱面108有相互位置关系的第二侧面105,用于测量与第一侧面102 之间平行度的基准平面，确保其Rz定位精度。第一定位销3和第二定位销5安 装在平板4的两个销孔内，用于调整C型板7的X, Y, Rz精度。其中Rz调整装置采用偏心销6,偏心销6安装在圓环平板1的U型槽面110 中，偏心销6的第二上圓柱面112与第二下圆柱面113的回转轴心是偏心的， 第二下圓柱面113与主基板(未标出)对应孔配合。调整Rz精度时可转动偏心 销6使其绕第二下圓柱面113旋转，使第二上圆柱面112对U型槽面110施力， 从而可转动该装置来达到Rz精度要求。本技术 一种精密空间定位和调整装置的安装及调整方法是1、 通过第一上圓柱面104及第一平面103定位，将圆筒2安装在圆环平板 l上，并螺紋连接紧固；2、 通过第一圓柱面108及第二平面107定位，将平板4安装圓筒2上，同 时调整第二侧面105与第一侧面102的平行度，符合要求后(按照装置的不同 要求，安装器件不同，所要求的精度也不一样)，螺紋连接紧固；3、 通过销孔圓柱面106和第二圓柱面109定位，将第一定位销3和第二定 位销5安装在平板4上；4、 通过第一下圓柱面101及第一平面103定位，将装置安装在主基板(未 标出)上，确保装置X, Y, Z, Rx， Ry精度；5、 通过与主基板(未标出)的销孔定位，将偏心销6安装在圓环平板1的 U型槽110中，根据圆环平板1的第一侧面102与主基板基准面的平行度，用 偏心销6转动装置使其Rz达到精度要求；6、 将C型板7的销孔(未标出)与定位销5定位，确保X， Y精度，C型 板的侧面111靠在定位销3的圓柱面上确定Rz精度。该装置结构简单，使用方便，使用该装置进行空间定位和调整，不但定位 精度高，而且还能节约成本，4^高工作效率。权利要求1、一种精密空间定位和调整装置，包括圆环平板(1)、圆筒(2)、平板(4)、第一定位销(3)和第二定位销(5)，其特征在于该装置还包括Rz调整装置(6)，其中圆筒(2)安装在圆环平板(1)上，平板(4)固定在圆筒(2)上，第一定位销(3)和第二定位销(5)安装在平板(4)的两个销孔内，Rz调整装置(6)安装在圆环平板(1)上。2、 如权利要求1所述的一种精密空间定位和调整装置，其特征在于所述的Rz 调整装置包括偏心销(6),圆环平板(1)有U型槽面(110),其中偏心销(6) 安装在U型槽面(110)中。3、 如权利要求1所述的一种精密空间定位和调整装置，其特征在于所述的圆环 平板(1 )的下端有第一下圓柱面(101 ),上端有第一上圆柱面(104),第一下 圓柱面(101 )和第一上圓柱面(104)轴心相同。4、 如权利要求1所述的一种精密空间定位和调整装置，其特征在于所述的圆环 平板(1 )有一个调整定位精度的第一侧面(102 )。5、 如权利要求1所述的一种精密空间定位和调整装置，其特征在于所述的平板 (4)有一个调整Rz定位精度的第二侧面(105)。专利摘要一种精密空间定位和调整装置，包括圆环平板(1)、圆筒(2)、平板(4)、第一定位销(3)、第二定位销(5)和Rz调整装置(6)，其中圆筒(2)安装在圆环平板(1)上，平板(4)固定在圆筒(2)上，第一定位销(3)和第二定位销(5)安装在平板(4)的两个销孔内，Rz调整装置(6)安装在圆环平板(1)上。该装置结构简单，调整快速高效，定位精度高，能节约成本，提高工作效率。文档编号G12B5/00GK201084431SQ20072007559公开日2008年7月9日 申请日期2007年10月19日 优先权日2007年10月19日专利技术者育 刘, 张国韦, 袁志扬 申请人:上海微电子装备有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种精密空间定位和调整装置，包括圆环平板（１）、圆筒（２）、平板（４）、第一定位销（３）和第二定位销（５），其特征在于该装置还包括Ｒｚ调整装置（６），其中圆筒（２）安装在圆环平板（１）上，平板（４）固定在圆筒（２）上，第一定位销（３）和第二定位销（５）安装在平板（４）的两个销孔内，Ｒｚ调整装置（６）安装在圆环平板（１）上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘育，袁志扬，张国韦，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]