【技术实现步骤摘要】
热电偶温度计
本技术涉及一种热电偶温度计，尤其涉及一种带固定装置的热电 偶温度计。
技术介绍
热电偶温度计是一种利用不同导体接触构成回路，产生电势，根据电势 大小测试温差的温度计，利用热电偶作为感温元件，广泛用于一些炉管、才几 台等高工作温度场所，在其使用时，并须将温度计深入被测点。半导体制造 厂中，存在很多热工艺机台，运用大量的热电偶温度计。如图l所示，这是一个现有炉管机台中热电偶温度计的安装示意图，热电偶温度计1呈L型，其感温一端设置于炉管机台2内，另一端安装在炉管 的底座壳体，连接线缆，可以向机台的监控端提供炉管内的温度信息。炉管 机台的工作环境有时为真空，所以炉管内经常进行反复的抽真空和破真空的 循环，而热电偶温度计l和机台2之间全靠一条密封圏3来密封，并使用支 撑架4支撑，在反复的抽真空过程中，L型热电偶温度计l极容易与密封圈 3分离，从安装位置上脱落，并被吸入炉管机台2内，从而导致机台的宕机， 造成生产事故。这样就需要一种带固定装置的热电偶温度计，使其能够牢固安装在机台 上，避免在才几台的抽、石皮真空作业时净皮吸入机台内部。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种带固定装置的热电偶温度计， 以解决炉管机台在反复的抽、破真空作业时，热电偶温度计容易脱落被吸入 才几台内部的情况。本技术所述的热电偶温度计，将现有的热电偶温度计在支撑架外的一段外壳上增加一个环形槽，所述固定装置还包括一个c形环，c形环安装 在所述环形槽上，开口一侧设有螺钉孔，用螺钉连接，形成封闭环形。c形 环可用塑料材质，便于热电偶温度计的拆卸。本技术所述的热电偶温度计，安装时...
【技术保护点】
一种热电偶温度计，其特征在于一端为感温端，另一端为安装端，所述安装端外壳上设有一环形槽，环形槽上固定连接一Ｃ形环。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：任瑞龙，关英来，凌尧，崔长祥，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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