压电振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟技术

本发明专利技术提供一种压电振动器（１），其中包括：两面被研磨加工的基底基板（２）；形成有空腔（Ｃ）用的凹部（３ａ）并与基底基板接合的盖基板（３）；以收容于在两基板之间形成的空腔内的状态接合至基底基板的上表面的压电振动片（４）；形成在基底基板的下表面的一对外部电极（３８、３９）；以贯通基底基板的方式形成且维持空腔内的气密的同时对一对外部电极分别电连接的一对贯通电极（３２、３３）；以及形成在基底基板的上表面并对接合的压电振动片分别电连接一对贯通电极的迂回电极（３６、３７），贯通电极通过包含形成为非球形形状的多个金属微粒的膏的固化来形成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在接合的两块基板之间形成的空腔内密封了压电振动片的表面安装 型(SMD)压电振动器、制造该压电振动器的压电振动器的制造方法、具有压电振动器的振 荡器、电子设备及电波钟。
技术介绍
近年来，在便携电话或便携信息终端设备上，采用利用了水晶等作为时刻源或控 制信号等的定时源、参考信号源等的压电振动器。已知多种多样的这种压电振动器，但作为 其中之一，众所周知表面安装型压电振动器。作为这种压电振动器，已知一般以由基底基板 和盖基板上下夹持形成有压电振动片的压电基板的方式进行接合的3层构造型。这时，压 电振动器收容于在基底基板和盖基板之间形成的空腔(密闭室)内。此外，在近年，不仅开 发了上述的3层构造型，而且还开发了 2层构造型。这种类型的压电振动器由于基底基板和盖基板直接接合而成为2层构造，在两基 板之间形成的空腔内收容有压电振动片。该2层构造型的压电振动器与3层构造的压电振 动器相比在可实现薄型化等的方面优越，因而适于使用。作为这种2层构造型的压电振动 器之一，众所周知利用形成为贯通基底基板的导电构件，使压电振动片与形成于基底基板 的外部电极导通的压电振动器(例如，参照专利文本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电振动器，其特征在于，包括：基底基板，该基底基板的两面被研磨加工；盖基板，该盖基板形成有空腔用的凹部，并且以使该凹部与所述基底基板对置的状态接合至该基底基板；压电振动片，在收容于利用所述凹部而在所述基底基板与所述盖基板之间形成的空腔内的状态下，接合至基底基板的上表面；一对外部电极，形成在所述基底基板的下表面；一对贯通电极，以贯通所述基底基板的方式形成，维持所述空腔内的气密，并且对所述一对外部电极分别电连接；以及迂回电极，形成在所述基底基板的上表面，对于接合的所述压电振动片分别电连接所述一对贯通电极，所述贯通电极通过固化膏来形成，该膏包含形成为非球形形状的多个金属微粒。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：鬼塚修，须釜一义，栗田澄彦，
申请(专利权)人：精工电子有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]