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文档序号:5487897

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本发明提供一种压电振动器(1),其中包括:两面被研磨加工的基底基板(2);形成有空腔(C)用的凹部(3a)并与基底基板接合的盖基板(3);以收容于在两基板之间形成的空腔内的状态接合至基底基板的上表面的压电振动片(4);形成在基底基板的下表面...
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