【技术实现步骤摘要】
本技术属于一种用于300mm硅片热处理的氧化炉设备，具体的是一 种用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉炉体的炉丝引线固定装置。
技术介绍
氧化炉是用于硅片进行氧化、退火等热处理工艺的半导体设备，现在的氧 化炉，大都是卧式结构，其温度均匀性及控温精度不够理想，操作和控制不够 精确灵活，生产效率和产品质量不够高，不能适应300mm硅片的生产需求。 因此，需要提出一种结构改进的氧化炉。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧化 炉炉体炉丝引线固定装置，该装置结构新颖、简单适用，连接牢固。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的300mm立式氧化炉炉体 炉丝引线固定装置，其特征在于设有内固定板、中固定板、外固定板，所述中固定板卡入内固定板中部的方槽中，炉丝引线穿过内固定板、中固定板中间 的长圆孔和外固定板伸到氧化炉炉体外壁外面，炉丝引线的另一端与炉丝焊接 在一起，炉丝引线中部与中固定板焊接在一起，内外固定板由绝缘耐热材料制 成，通过螺栓固定在氧化炉炉体的内壁上。本技术与以往炉体的炉丝引线固定方式相比，具有以下优点炉丝引线固定位置准确，不会产...
【技术保护点】
一种３００ｍｍ立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置，其特征在于：设有内固定板（１）、中固定板（２）、外固定板（３），所述中固定板卡入内固定板中部的方槽中，炉丝引线（４）穿过内固定板、中固定板中间的长圆孔（２．１）和外固定板伸到氧化炉炉体外壁外面，炉丝引线的另一端与炉丝（６）焊接在一起，炉丝引线中部与中固定板焊接在一起，内外固定板由绝缘耐热材料制成，通过螺栓（５）固定在氧化炉炉体的内壁上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵星梅，董金卫，胡星强，艾伦埃马米，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
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