热光移相器及其制造方法技术

根据本发明专利技术示例性方面的一种热光移相器（２００），包括：衬底（２０１）；形成在该衬底（２０１）上的牺牲层（２０２）；形成在该牺牲层（２０２）上的第一包覆层（２０３），该第一包覆层（２０３）的薄膜密度高于该牺牲层（２０２）的薄膜密度；形成在该第一包覆层（２０３）上的光波导芯（２０４）；设在该第一包覆层（２０３）之上以覆盖该光波导芯（２０４）的第二包覆层（２０５）；设于直接位于该光波导芯（２０４）的该第二包覆层（２０５）的一个区域内的热生成加热器（２０６）；和形成在该光波导芯（２０４）侧面区域中的凹槽（２０７），所述凹槽（２０７）从该第二包覆层（２０５）的表面延伸至该衬底（２０１）的表面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种热光移相器及其制造方法；尤其涉及一种能够适合作为光学装置，如利用热光效应产生的相变的开关、可变衰减器或波长滤波器，而使用的热光移相器。
技术介绍
在光通信领域中，由于波分多路复用(WDM)通信系统的出现，多信道通信得到了快速的发展。基于此，为了实现对各个信道的功能性控制，需要数量与信道的数量相一致的光学元件。此处的例子是保持各个信道的功率一致并进行切换。因此，能够应用在光学开关和其他类似光学装置中的小型光学回路元件的需求量增加。目前，许多单器件(single-unit)光学开关已经面世，而具有多个输入/输出端口且采用大量光学开关的矩阵开关也已经投入实际应用中。为了实现光学开关，可采用多种技术方案。例如，一种方法是，通过机械式移动输入端口和输出端口从而连接两者(例如，参见专利文献1)，另一种方法是，通过转动可移动的反射镜使其以特定的角度倾斜从而连接输入端口和输出端口(例如，参见专利文献2和非专利文献1)，在一种方法中则采用了液晶(例如，参见专利文献3)，又一种方法是，通过在已连接的波导或其他类似装置的交叉点上生成气泡来控制光的反射以改变输入端口和输出端口之间的连接。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热光移相器，包括：　衬底；　牺牲层，所述牺牲层形成在所述衬底上方；　第一包覆层，所述第一包覆层形成在所述牺牲层上方，所述第一包覆层的薄膜密度高于所述牺牲层的薄膜密度；　光波导芯，所述光波导芯形成在所述第一包覆层上 方；　第二包覆层，所述第二包覆层设在所述第一包覆层之上以覆盖所述光波导芯；　热生成加热器，设于直接位于所述光波导芯上方的所述第二包覆层的一个区域内；和　形成在所述光波导芯侧面区域中的凹槽，所述凹槽从所述第二包覆层的表面延伸 至所述衬底的表面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2006-10-20 286756/20061.一种热光移相器，包括：衬底；牺牲层，所述牺牲层形成在所述衬底上方；第一包覆层，所述第一包覆层形成在所述牺牲层上方，所述第一包覆层的薄膜密度高于所述牺牲层的薄膜密度；光波导芯，所述光波导芯形成在所述第一包覆层上方；第二包覆层，所述第二包覆层设在所述第一包覆层之上以覆盖所述光波导芯；热生成加热器，设于直接位于所述光波导芯上方的所述第二包覆层的一个区域内；和形成在所述光波导芯侧面区域中的凹槽，所述凹槽从所述第二包覆层的表面延伸至所述衬底的表面。2.如权利要求1所述的热光移相器，其中：所述牺牲层的体积密度至少为2.0g/cm3。3.如权利要求1所述的热光移相器，其中：所述牺牲层和所述第一包覆层由硅玻璃制成。4.如权利要求1所述的热光移相器，其中：所述牺牲层和所述第一包覆层由硅玻璃和来自磷玻璃、硼玻璃和锗玻璃中的至少一种杂质材料制成。5.如权利要求4所述的热光移相器，其中：所述牺牲层中的杂质...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥森生，
申请(专利权)人：日本电气株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]