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根据本发明示例性方面的一种热光移相器（２００），包括：衬底（２０１）；形成在该衬底（２０１）上的牺牲层（２０２）；形成在该牺牲层（２０２）上的第一包覆层（２０３），该第一包覆层（２０３）的薄膜密度高于该牺牲层（２０２）的薄膜密度；形成在该第...
该专利属于日本电气株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电气株式会社授权不得商用。

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