玻璃衬里用面釉组合物制造技术

本发明专利技术的玻璃衬里用面釉组合物，其特征在于，构成该组合物的釉料含有ＳｉＯ↓［２］　６５～７５摩尔％、ＺｒＯ↓［２］　２～８摩尔％、Ｒ↓［２］Ｏ（式中Ｒ表示Ｌｉ、Ｋ、Ｃｓ）１０～２２摩尔％、Ｒ′Ｏ（式中Ｒ′表示Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ）２～１２摩尔％作为主要成分，不添加Ｎａ↓［２］Ｏ，此外，本发明专利技术的玻璃衬里用面釉组合物中也可以配合金属纤维。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及玻璃衬里用组合物，更详细地讲涉及玻璃衬里用面釉 组合物。
技术介绍
在制造半导体的工序中，在硅基板上掺杂金属氧化物等，例如釆用CVD (化学蒸镀)法提供绝缘膜，釆用溅射或镀覆进行配线，反复进 行该操作构成电路，但随着集成度的提高，配线的线宽被微细化到80nm 以下。另外，在液晶或有机EL显示器制造中，采用TFT(薄膜晶体管型) 型面板，在该制造工序中也同样地采用宽度窄的配线。在制造半导体或TFT型面板的工序中，使用氢氟酸、磷酸、盐酸、 硫酸、氨等的化学液或配线用的抗蚀液等，但钠、锂、钾、铷等的碱 金属离子混入这些液中时，配线被破坏，上述金属离子混入抗蚀液中 时，上述金属离子在抗蚀图形中形成影，发生配线被断开的问题。上 述碱金属中，尤其是钠成分由于对半导体制造的合格率有显著的影响， 故在半导体制造工序中成为应该严格地避免的成分。因此，在制造上述化学液的工序中，从防止金属成分溶出的观点 考虑，使用四氟乙烯-全氟乙烯基醚树脂(PFA )或四氟乙烯树脂(PTFE ) 制的反应罐、配管类，但在高温下树脂软化，因此使用无机材料，例 如没有钠成分存在的石英玻璃等。在此，在以往制造化学药品的工序中，根据能够容易地制造大容 量设备的观点广泛地采用由玻璃质材料涂布金属制罐体的接触面的所 谓的玻璃衬里制设备。该玻璃衬里设备所使用的玻璃衬里以二氧化硅 (SiOJ为主要成分，此外，为了和基体金属的热膨胀率一致或使玻 璃熔融时的温度降低，确保多成分的溶解性，配合Na20。即，由于Na203修饰玻璃衬里的玻璃网状结构，切断Si02网状结构，起到(i)增大线热 膨胀系数；(ii)增大易溶性的作用，因此成为玻璃衬里中必须的成 分。然而，钠成分容易从配合有Na20的玻璃衬里中溶出，由于该钠成 分在化学液制造过程中混入到化学液等中，因此在半导体或TFT型面板 的制造过程中所使用的化学液等的制造中，不能使用以往的衬里制设 备。另一方面，虽然石英玻璃没有钠成分的溶出，但软化点为16501C 的高温，涂布在金属制罐体等的接触液面上时，金属氧化和损伤，并 且由于金属制罐体与石英玻璃的热膨胀的差别大，在冷却时发生石英 玻璃的损伤，极难以将石英玻璃的涂布用于大容量装置。因此，提出在玻璃衬里制设备的玻璃衬里层表面上设置二氧化硅 涂层。例如，专利文献l中公开了玻璃衬里制品的制造方法，其特征在 于，在母材(1)的表面上形成有衬里玻璃层(2)的玻璃衬里被覆制 品的制造方法中，通过采用溶胶-凝胶法将Si02涂布在上述衬里玻璃层(2 )的表面上形成二氧化硅涂层进行制造(权利要求l );权利要求l 所述的玻璃衬里制品的制造方法，其中采用溶胶凝胶法涂覆S i02的方 法，是将添加硅的烷氧基化合物类和聚乙二醇得到的液体喷雾到衬里 玻璃层(2)上后进行干燥、烧成的方法(权利要求2);玻璃衬里制 品的制造方法，其特征在于，在母材(l)的表面上形成有衬里玻璃层(2)的玻璃衬里被覆制品的制造方法中，通过将Si02涂布在上述衬里 玻璃层(2)的表面上形成二氧化硅涂层(3)进行制造(权利要求6)。 另夕卜，在专利文献1的 ~ 段落中，还记载了二氧化硅涂层 的厚度为O. 5 ~ lO)nm。另外，专利文献2公开了一种导电性玻璃衬里组合物，是含有釉料 的玻璃衬里组合物，其特征在于，相对于上述釉料1Q0质量份含有直径 0. 5~30pm、长度1.5 10mm、长度/直径的形状比为50以上的金属纤 维O. 05 ~ 1. 5质量份(权利要求l);权利要求l所述的导电性玻璃衬里 组合物，其中金属纤维是不锈钢类金属、贵金属类金属及铂与柏族金 属的合金中的1种或2种以上(权利要求2)。另外，根据专利文献2的权利要求3，记载了釉料含有8~22质量％的^20。此外，专利文献3公开了一种导电性玻璃衬里组合物，是含有釉料 的玻璃衬里组合物，其特征在于，相对于上述釉料100质量份含有直径 0. Olnm以上、低于O. 5|tun、长度O. 5 ~ 1500pm、长度/直径的形状比为 50以上的金属纤维0. 001 ~ 0. 05质量份(权利要求l);权利要求l所述 的导电性玻璃衬里组合物，其中金属纤维是选自贵金属系金属及铂与 铂族金属的合金中的1种或2种以上(权利要求2)。另外，根据专利文 献3的权利要求3，记载了釉料含有8~ 22质量y。的Na2()。专利文献l:特开2002-131777号公报专利文献2:特开平10-81544号公报专利文献3:特开平11-116273号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，以上述专利文献l所述的玻璃衬里制品的制造方法制得的玻 璃衬里制品，由于在其表面上设置了二氧化硅涂层(2)，虽然没有钠 成分等的溶出，但二氧化硅涂层(3)的厚度为O. 5~ IO拜非常薄，容 易发生针孔等，此外二氧化硅涂层(3)对衬里玻璃层(2)的附着力 也不充分，容易发生剥离等，另外，耐用性也有问题，不能够长期稳 定地防止钠成分等从玻璃衬里制品中的溶出。另外，增厚上述二氧化 硅涂层(2)时，由于应力而容易发生剥离，因此不能够通过增厚涂层 厚度防止针孔等。另外，专利文献2和专利文献3所述的导电性玻璃衬里组合物中， 在釉料中配合了8~ 22质量％的^20，对钠成分等的溶出没有任何考虑。因此，本专利技术的目的在于提供能够提供没有钠成分溶出的玻璃衬 里制设备的玻璃衬里用面釉组合物。解决课题的方法
本专利技术人为了解决上述课题潜心进行研究的结果，发现即使不在 构成玻璃衬里制设备的玻璃村里用面釉组合物中添加钠成分也能够施釉具有良好特性的玻璃衬里，从而完成了本专利技术。即，本专利技术的玻璃衬里用面釉组合物，其特征在于，构成该组合物的釉料(7卩少卜)含有Si02 65 ~ 75摩尔％、 Zr02 2 ~8摩尔％、 R20 (式中R表示Li、 K、 Cs) 10~22摩尔％、 R'0 (式中R'表示Mg、 Ca、 Sr、 Ba) 2~ 12摩尔％作为主要成分，不添加Na20。另外，本专利技术的玻璃衬里用面釉组合物，其特征在于，釉料含有 Ti02、 A1203、 La203、 B203和ZnO中的l种或2种以上。此外，本专利技术的玻璃衬里用面釉组合物，其特征在于，Ti02的含 量在O. 1~4摩尔％、 Al2O3的含量在0. 1~4摩尔％、 1^203的含量在0. 1~4 摩尔％、 8203的含量在0. 1 ~ 4摩尔％、 ZnO的含量在O. 1 ~ 4摩尔％的范围 内，并用2种以上的场合，其合计量在0.2~5摩尔％的范围内。另外，本专利技术的玻璃衬里用面釉组合物，其特征在于，相对于釉 料100质量％，按Fe203换算量以达到3质量。/。的量配合选自Co0、 Sb203 、 Cr203、 Fe203、 Sn02和Ce02中的l种或2种以上的着色成分。此外，本专利技术的玻璃衬里用面釉组合物，其特征在于，Si02、 A1203 和CaO成分中的至多5摩尔。/。以氟化物的形态使用。另外，本专利技术的玻璃衬里用面釉组合物，其特征在于，线热膨胀 系数(100~ 400°C )在85 110x10—7°C—'的范围内。此外，本专利技术的玻璃衬里用面釉组合物，其特征在于，相对于釉 料IOO质量份含有直径O. 1 ~ 30jura、长度O.本文档来自技高网...

【技术保护点】
玻璃衬里用面釉组合物，其特征在于，构成玻璃衬里用面釉组合物的釉料含有ＳｉＯ↓［２］　６５～７５摩尔％、ＺｒＯ↓［２］　２～８摩尔％、Ｒ↓［２］Ｏ（式中Ｒ表示Ｌｉ、Ｋ、Ｃｓ）１０～２２摩尔％、Ｒ′Ｏ（式中Ｒ′表示Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ）２～１２摩尔％作为主要成分，不添加Ｎａ↓［２］Ｏ。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：饭泽吉弘，白崎雅裕，河岛崇，森修，
申请(专利权)人：池袋珐琅工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]