光学元件的制造方法及制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供光学元件的制造方法及制造装置，在通过液滴成形法制造具有对置的两个光学面的光学元件的情况下，能够确保高的偏心精度。该光学元件的制造方法具有将成形模具加热至规定温度的加热工序、向下模滴下熔融玻璃滴的滴下工序、使上模和下模沿加压方向相对移动来对熔融玻璃滴加压从而使光学元件成形的加压工序。基于通过加压工序而成形的光学元件的两个光学面的位置偏移量，来调整加压工序中的上模和下模的水平方向的相对位置及倾斜的至少一个。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对熔融玻璃滴进行加压成形来制造具有对置的两个光学面的光学元件的光学元件的制造方法及用于实施该制造方法的光学元件的制造装置。
技术介绍
近年来，用成形模具对玻璃原料进行加压成形而制造出的光学元件，作为数码相机用透镜、DVD等光拾取透镜、移动电话用照相机透镜、光通信用耦合透镜、用于将从半导体激光器输出的椭圆形状的输出光束整形成圆形的光束整形元件等而得到广泛应用。此外，随着光学产品的小型化、高精度化的要求，针对玻璃制光学元件所要求的性能也越来越高，针对对置的两个光学面的相对位置与设计值的偏移量(以下称为“偏心量”)所要求的性能也越来越严格。在作为DVD用拾取透镜等而使用的高NA透镜中，偏心量的容许公差极小，需要限制在例如0.1μm以下的范围内。作为上述玻璃制光学元件的制造方法之一，公知有预先作成具有规定重量及形状的玻璃料滴，将该玻璃料滴与成形模具一起加热到玻璃可变形的温度之后，用成形模具将玻璃料滴加压成形的方法(以下称为“再热式压制法”)(例如参照专利文献1、2)。根据专利文献1、2的记载，通过在套筒内对成形模具的倾斜进行调整的方法(专利文献1)、与上下模的按压动作独立地从上下模的侧面上下同时地对模具的外周进行加压的方法(专利文献2)，能够抑制偏心量。但是，在这种再热式压制法中，每次成形都需要反复对模具及玻璃料滴进行加热和冷却，因此存在1次成形所需的时间非常长的问题。另外，作为玻璃成形体的另一制造方法，公知有向预先加热到了规定温度的下模上滴下熔融玻璃滴，在所滴下的熔融玻璃滴达到可变形的温度期间，用上模和下模进行加压成形的方法(以下称为“液滴成形法”)(例如参照专利文献3)。该方法无需对成形模具等反复进行加热和冷却，能够从熔融玻璃滴直接制成玻璃成形体，因此1次成形所需的时间非常短，因而受到了关注。专利文献1：日本特开2005-306644号公报专利文献2：日本特开平10-182173号公报专利文献3：日本特开2005-320199号公报然而，对于液滴成形法，在使上模从下模的上方退避了的状态下，在向下模上滴下了熔融玻璃滴之后且进行加压成形之前，为了使上模和下模成为规定的上下关系，而需要对上模和下模进行相对移动的工序。而且，滴下了的熔融玻璃滴会随着时间急速冷却，因此必需以相当高的速度使上模和下模相对移动。因此，若为了减小偏心量而减小套筒与成形模具之间的间隙，则向套筒插入成形模具时易发生碰撞，导致难以制造性能稳定的光学元件。而且，专利文献1中记载的方法存在无法对应大于套筒与成形模具的间隙量的偏心，而且无法对应两个光学面的平行偏移的问题。而且，在成形模具的加工上，难以使成形模具的外径中心轴与成形面的轴完全一-->致，通常外径中心轴与成形面的轴具有某种程度的偏移的情况较多。专利文献2中记载的方法为从侧面对上下的成形模具进行加压而使外径中心轴一致的方法，因此，在成形模具的外径中心轴与成形面的轴不一致的情况下，原理上无法对其进行补正。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述技术课题而做出，本专利技术的目的在于，提供一种在通过液滴成形法来制造具有对置的两个光学面的光学元件时，能够确保高偏心精度的光学元件的制造方法。此外，本专利技术的其他目的在于提供一种用于实施该制造方法的光学元件的制造装置。为了解决上述课题，本专利技术具有以下特征。1.一种光学元件的制造方法，由具有上模及下模的成形模具对熔融玻璃滴进行加压成形，从而来制造具有对置的两个光学面的光学元件的，其特征在于，包括：将上述成形模具加热至规定温度的加热工序；向上述下模滴下上述熔融玻璃滴的滴下工序；使上述上模和上述下模沿上下方向相对移动，对上述熔融玻璃滴加压来成形上述光学元件的加压工序；其中，基于通过上述加压工序而成形的光学元件的上述两个光学面的位置偏移量，来调整上述加压工序中的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置及倾斜中的至少一个。2.在上述1所述的光学元件的制造方法中，其特征在于，在上述滴下工序和上述加压工序中，上述上模和上述下模的水平方向的相对位置不同，在上述滴下工序与上述加压工序之间，具有使上述上模及上述下模的至少一个沿水平方向移动的移动工序，上述加压工序中的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置的调整是通过改变在上述移动工序中移动的上述上模及上述下模的至少一个的停止位置来进行的。3.在上述2所述的光学元件的制造方法中，其特征在于，在上述滴下工序和上述加压工序中，上述下模的水平方向的位置不同，在上述滴下工序与上述加压工序之间，具有使上述下模沿水平方向移动的移动工序，上述加压工序中的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置的调整是通过改变在上述移动工序中移动了的上述下模的停止位置来进行的。4.在上述3所述的光学元件的制造方法中，其特征在于，在上述加压工序中，通过使上述上模下降来进行加压。5.在上述3所述的光学元件的制造方法中，，其特征在于，上述加压工序中的上述上模和上述下模的倾斜的调整是通过改变上述上模的角度来进行的。6.在上述1～5中任一项所述的光学元件的制造方法中，，其特征在于，上述两个光学面的位置偏移量是通过测定上述光学元件的透过波前像差而求得。7.在上述1至6中任任一项所述的光学元件的制造方法中，其特征在于，上述上模及上述下模的至少一个具有用于转印标记的标记转印部，该标记用于识别相对于上述光学元件的位置。8.在上述7中所述的光学元件的制造方法中，其特征在于，标记转印部由凹部形成，上述凹部的深度D为0.5μm以上、20μm以下，上述凹部的宽度W为3μm以上、200μm以下。9.在上述8中所述的光学元件的制造方法中，其特征在于，上述标记的长度为形成有该标记的光学面的有效径的5％以上、30％以下。-->10.一种光学元件的制造装置，其用于对熔融玻璃滴进行加压成形来制造具有对置的两个光学面的光学元件，其特征在于，具有：具有上模及下模的成形模具；用于将上述成形模具加热至规定温度的加热单元；用于向上述下模滴下上述熔融玻璃滴的滴下单元；加压单元，其用于使上述上模和上述下模沿上下方向相对移动来对上述熔融玻璃滴加压；水平位置调整单元，其用于调整对上述熔融玻璃滴加压时的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置；倾斜调整单元，其用于调整对上述熔融玻璃滴加压时的上述上模及上述下模的至少一个的倾斜。根据本专利技术，基于根据先制造出的光学元件的特性计算出的两个光学面的位置偏移量，对加压工序中的上模和下模的水平方向的相对位置及倾斜中的至少一个进行调整，因此，能够将所制造的光学元件的两个光学面的位置偏移量抑制到最小限度。因此，在通过液滴成形法来制造具有对置的两个光学面的光学元件的情况下，即便在成形模具的外径中心轴与成形面的轴不一致时，也能够确保高的偏心精度。附图说明图1是示意性地示出本专利技术的光学元件的制造装置10的图(在滴下工序中的状态)。图2是示意性地示出本专利技术的光学元件的制造装置10的图(在加压工序中的状态)。图3是下模12附近的立体图。图4是上模基座16的A-A剖视图。图5是示出用于制造光学元件的基本工序的流程图。图6是示出对上模11和下模12的水平方向的相对位置及倾斜进行调整的工序的流程图。图7是示出计算光学元件25的两个光学面的位置偏移量的工序的流程图。图8是示出通过本专利技术的制造方法所制本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学元件的制造方法，其通过具有上模及下模的成形模具对熔融玻璃滴进行加压成形，从而来制造具有对置的两个光学面的光学元件，其特征在于，具有：　　加热工序，将上述成形模具加热至规定温度；　　滴下工序，向上述下模滴下上述熔融玻璃滴；　　加压工序，使上述上模和上述下模沿上下方向相对移动，从而对上述熔融玻璃滴加压来成形上述光学元件；其中，　　基于通过上述加压工序成形的光学元件的上述两个光学面的位置偏移量，对上述加压工序中的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置及倾斜的至少一个进行调整。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2007-10-5 2007-2618641.一种光学元件的制造方法，其通过具有上模及下模的成形模具对熔融玻璃滴进行加压成形，从而来制造具有对置的两个光学面的光学元件，其特征在于，具有：加热工序，将上述成形模具加热至规定温度；滴下工序，向上述下模滴下上述熔融玻璃滴；加压工序，使上述上模和上述下模沿上下方向相对移动，从而对上述熔融玻璃滴加压来成形上述光学元件；其中，基于通过上述加压工序成形的光学元件的上述两个光学面的位置偏移量，对上述加压工序中的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置及倾斜的至少一个进行调整。2.根据权利要求1所述的光学元件的制造方法，其特征在于，在上述滴下工序和上述加压工序中，上述上模和上述下模的水平方向的相对位置不同，在上述滴下工序和上述加压工序之间，具有使上述上模及上述下模的至少一个沿水平方向移动的移动工序；上述加压工序中的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置的调整是通过改变在上述移动工序中移动的上述上模及上述下模的至少一个的停止位置来进行的。3.根据权利要求2所述的光学元件的制造方法，其特征在于，在上述滴下工序和上述加压工序中，上述下模的水平方向的位置不同，在上述滴下工序和上述加压工序之间，具有使上述下模沿水平方向移动的移动工序；上述加压工序中的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置的调整是通过改变在上述移动工序中移动的上述下模的停止位置来进行的。4.根据权利要求3所述的光学元件的制造方法，其特征在于，在上述加压...

【专利技术属性】
技术研发人员：坂田忠文，小川洋一，釜田善浩，虫明信雄，多田一成，
申请(专利权)人：柯尼卡美能达精密光学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]