本发明专利技术提供一种减小过滤抗蚀剂液的过滤器１４前后压力变动的填充装置。该装置具备：存积有抗蚀剂液的填充液罐２、通过供给泵１０将从该填充液罐２送出的抗蚀剂液输送至填充喷嘴８的填充液通路４、从填充液通路４中途的分支部１８分支出并连通至填充液罐２的回收通路１６、设置在比填充液通路４的分支部１８更下游侧（填充液通路４的下游部４Ｂ）的填充阀１２、设置在回收通路１６上的回收阀２０、设置在上述泵１０和分支部１８之间的过滤器１４、分别驱动填充阀１２和回收阀２０的伺服电机、控制伺服电机以调整填充阀１２和回收阀２０的开度的控制装置２４；并且该装置控制回收阀２０的开度，以使过滤器１４的上游侧和下游侧的压力不变动。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及将透过过滤器除去了杂质的抗蚀剂液填充在容器内的填充装置，尤其 涉及可降低填充动作所产生的过滤器前后压力差的填充装置。
技术介绍
抗蚀剂液的填充装置中，在液体通路内配置过滤器以捕获抗蚀剂液中所含的杂质 (例如，参照专利文献1或专利文献2)。专利文献1记载的光致抗蚀剂涂布装置是“对于从 光致抗蚀剂加仑瓶(gallon bottle) 21起经三通阀13、泵3、过滤器单元4、三通阀14到达 涂布喷嘴5的供给用配管2，设置了从三通阀14直接回到三通阀13的循环用配管8”。该 装置中，“涂布停止时使光致抗蚀剂在从三通阀13、泵3、过滤器单元4、三通阀14经循环用 配管8回到三通阀13的环状线路内循环而不让光致抗蚀剂停滞”。另外，专利文献2中记载了 “一种降低微粒量的光致抗蚀剂组合物的制备方法，其 特征在于该方法使光致抗蚀剂组合物通过过滤器，再将通过后的光致抗蚀剂组合物引导 至该过滤器中，通过使其在封闭系统内循环来除去该光致抗蚀剂组合物中的微粒”。该方 法中，在进行填充前使光致抗蚀剂组合物通过过滤器从而将光致抗蚀剂组合物中的杂质除 去。专利文献1 日本特开平10-172881号公报专利文献2 日本特开2002-62667号公报
技术实现思路
上述各引用文献中记载的专利技术的结构，是利用泵输送抗蚀剂液使其通过过滤器以 除去杂质等。当不进行这种填充动作时，即使通过过滤器除去抗蚀剂液的杂质等而使杂质 减少，在进行填充时，填充阀的开闭动作也会导致过滤器的上游侧和下游侧产生压力变动， 如果这种压力变动大，则存在有时抗蚀剂液中的杂质通过过滤器流向下游侧的问题。本专利技术是为了解决上述课题而完成的，目的在于提供一种填充装置，该填充装置 通过尽量抑制由填充阀的开闭动作而产生的过滤器的上游侧和下游侧之间的压力变动，可 以提高过滤器对抗蚀剂液的过滤准确度。本专利技术的特征在于，填充装置具备存积有填充液的填充液罐、连通该填充液罐和 填充喷嘴的填充液通路、从该填充液通路分支出并使填充液回流到上述填充液罐中的回收 通路、设置在比上述填充液通路与回收通路的分支部更下游侧的填充阀、设置在上述回收 通路中的回收阀、设置在填充液通路中并输送填充液罐内的填充液的供给泵、设置在填充 液通路的供给泵与上述分支部之间的过滤器、分别设置在上述填充阀和回收阀中并调整各 阀的开度的驱动设备(手段)、控制这些驱动设备的控制设备；上述控制设备控制上述回收 阀的开度，以使上述过滤器的上游侧压力和下游侧压力在填充动作中不会根据上述填充阀 的开闭动作而变动。权利要求2记载的专利技术，其特征在于设置记忆填充阀开度与回收阀开度的关系的记忆设备，根据该关系来控制填充阀和回收阀的开度。权利要求3记载的专利技术，其特征在于在上述过滤器的上游侧和下游侧设置压力 检测设备，根据检测出的压力来控制回收阀的开度。本专利技术的填充装置控制上述回收阀的开度，以使过滤器的上游侧和下游侧的压力 在填充动作中不会根据上述填充阀的开闭动作而变动，因此可以提高抗蚀剂液通过过滤器 时的过滤准确度。附图说明图1是表示简化的填充装置结构的概略结构图。(实施例1)图2是控制上述填充装置的一个例子的图。图3是表示简化的其它实施例涉及的填充装置结构的概略结构图。(实施例2)符号说明2填充液罐4填充液通路4A填充液通路的上游侧(上游部)4B填充液通路的下游侧(下游部)8填充喷嘴10供给泵12填充阀14过滤器16回收通路18分支部20回收阀24控制设备(控制装置)26压力检测设备(压力计)28压力检测设备(压力计)具体实施例方式填充装置具备存积有填充液的填充液罐、将填充液从该填充液罐输送至填充喷 嘴的填充液通路、在填充液通路内输送上述填充液罐的填充液的供给泵、从该填充液通路 分支出并使填充液回流到上述填充液罐中的回收通路、设置在比填充液通路的分支部更下 游侧的填充阀、调整该填充阀的开度的驱动设备、设置在上述回收通路的回收阀、调整该回 收阀的开度的驱动设备、控制这些驱动设备的动作的控制设备、设置在供给泵和上述填充 液通路与回收通路的分支部之间的过滤器；在填充动作中通过控制上述回收阀的开度，使 上述过滤器的上游侧和下游侧的压力不会根据上述填充阀的开闭动作而变动，从而实现降 低过滤器的上游侧和下游侧的压力差的目的。实施例1以下通过附图所示的实施例对本专利技术进行进一步说明。图1是表示本专利技术一个实 施例涉及的简化的填充装置结构的概略结构图。图中，2为存积有填充液(本实施例为抗蚀剂液)的填充液罐，经由填充液通路4连通至将抗蚀剂液填充到容器6内的填充喷嘴8。 该填充液通路4中设置有输送填充液罐2内的抗蚀剂液的供给泵10、以及连通/切断填充 液通路4的填充阀12。通过作为驱动设备的伺服电机(未图示)使该填充阀12开闭，从 而可以正确调整阀的开度。另外，在上述供给泵10和填充阀12之间，设置有过滤由供给泵 10送出的抗蚀剂液的过滤器14。该填充装置还设置有从上述填充液通路4的中途(过滤器14与填充阀12之间) 分支出的回收通路16，该回收通路16使送入填充液通路4内的抗蚀剂液回流到填充液罐2 中。另外，以填充液通路4与回收通路16连接的分支部18为基准将填充液罐2侧称为上 游部4A、填充喷嘴8侧称为下游部4B。上述回收通路16中设置有回收阀20，该回收阀20 控制回收通路16的开闭，使送入填充液通路4上游部4A的抗蚀剂液全部或部分回流。该 回收阀20也通过未图示的作为驱动设备的伺服电机而开闭，从而可以正确调整阀的开度。填充了抗蚀剂液的容器6通过负载传感器22测定填充重量，其检测信号被输入控 制设备(控制装置)24中。控制装置24通过来自该负载传感器22的信号，来控制作为上 述填充阀12和回收阀20的驱动设备的伺服电机以调整阀的开度。根据填充的液体种类，在该填充装置中，设定通过供给泵10的驱动从填充液罐2 输送至填充液通路(填充液通路的上游部4A)的填充液的流量。另外，预先通过实验求出 填充阀12开度与回收阀20开度的关系，将其关系记忆在设置于上述控制装置24中的记忆 设备内。流经通路的填充液的压力根据通路的直径、长度等条件而不同，因此在该条件下， 求出打开填充阀12时，要怎样控制回收阀20的开度才能抑制过滤器14前后的压力变动、 或者收集数据求出不产生压力变动的关系(填充阀12与回收阀20的开度的关系)。图2是表示可以降低过滤器14前后压力变动的、填充阀12开度与回收阀20开度 的关系的一个例子的图。如该图所示，只要能控制填充阀12和回收阀20的开度，就可以降 低过滤器14上游侧压力和下游侧压力的变动。例如，在本实施例中，将过滤器14的上游侧 压力设定为200KPa、将过滤器14的下游侧压力设定为170Kpa，控制填充阀12和回收阀20 的开度，以使该压力不变动。另外，使此时供给泵10产生的流量一定。这样通过维持设定 的过滤器14上游侧和下游侧压力的值而使压力不变动，从而可提高过滤器14对抗蚀剂液 的过滤准确度。实施例2图3是本专利技术第二实施例涉及的填充装置的概略结构图，结构与上述第一实施例 基本相同，因此相同或相当的部分标上同一符号并省略对其说明，仅对不同的部分进行说 明。本实施例中，在设置于填充液通路4的过滤器14的上游侧和下游侧分别设本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种填充装置，其特征在于： 该装置具备：存积有填充液的填充液罐、连通该填充液罐和填充喷嘴的填充液通路、从该填充液通路分支出并使填充液回流到所述填充液罐中的回收通路、设置在比所述填充液通路与回收通路的分支部更下游侧的填充阀、设置在所述回收通路中的回收阀、设置在填充液通路中并输送填充液罐内的填充液的供给泵、设置在填充液通路的供给泵与所述分支部之间的过滤器、分别设置在所述填充阀和回收阀中并调整各阀的开度的驱动设备、控制这些驱动设备的控制设备； 所述控制设备控制所述回收阀的开度，以使所述过滤器的上游侧压力和下游侧压力在填充动作中不根据所述填充阀的开闭动作而变动。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：中川孝治，室井雅昭，鸟越伸一，长池史浩，中村亮平，东健一，合田刚志，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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