一种光导波路的制造方法技术

技术编号:5407769 阅读:291 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供可以使芯部周边的包覆层的厚度为一定的光导波路的制造方法。一种光导波路的制造方法,其特征在于,通过如下方法形成第一层叠膜:在第一基材膜上形成包覆形成用第一固化性树脂层,通过使其固化形成包覆层,在该包覆层上形成固化后的折射率比包覆层高的芯形成用第二固化性树脂层,通过选择性地使其固化而形成芯部。通过如下方法形成第二层叠膜:在第二基材膜上形成包覆形成用第三固化性树脂层,通过使其固化形成包覆层。将形成有芯部的第一层叠膜和第二层叠膜介由包覆形成用第四固化性树脂层贴合,使第一层叠膜和第二层叠膜所夹持的固化性树脂层固化,从而制成包覆层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。
技术介绍
使用塑料等光固化性树脂的光导波路与使用其他材料的光导波路 相比,由于经光照射而固化,因此不会发生因温度变化而导致的芯部和 包覆部的变形、芯部的缺损等。而且,由于光导波路是光固化性树脂, 因此具有采用处理而容易进行复杂光导波路形成的优点。从这些角度出 发,期待着向低价格且高功能的光导波路部件的应用。以往的光导波路的制造方法如图4A 图4C所示。首先,准备在下 部基材膜91上层叠有下部包覆层92的下部基板93。在下部基板93上 设置有芯94。此外,准备在上部基材膜95上层叠有固化性树脂层96 的上部基板97。之后,从该下部基板93的上方挤压上部基板97。此时, 固化性树脂层96因柔软而变形,变成包围芯94周边的形状。之后,经光照射,固化性树脂层96变化成包覆层98。通过这样的 操作,形成以包围芯94周围的方式形成有包覆层92、 98的光导波路装 置卯(例如专利文献l)。专利文献l:特开2005-115047号爿>才艮
技术实现思路
然而,从下部基板93的上方挤压上部基板97时,由于膜自身是柔 软的,因此无法使芯94与上部基材膜95的距离为一定。芯94的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光导波路用干膜,其特征在于,具有: 基材膜、 在所述基材膜上形成的包覆层、以及 在所述包覆层上形成的未固化的芯部形成用组合物层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:江利山祐一
申请(专利权)人:JSR股份有限公司
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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