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一种光导波路的制造方法技术
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文档序号:5407769
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本发明提供可以使芯部周边的包覆层的厚度为一定的光导波路的制造方法。一种光导波路的制造方法,其特征在于,通过如下方法形成第一层叠膜:在第一基材膜上形成包覆形成用第一固化性树脂层,通过使其固化形成包覆层,在该包覆层上形成固化后的折射率比包覆层高...
该专利属于JSR股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过JSR股份有限公司授权不得商用。
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