蒸汽传输系统技术方案

一种传输系统（１０），用于将物质传输至处理室（１４）以将所期望的表面性质赋予一个或多个诸如鞋子的大物品，该系统包含：第一容器（１６），其用于填充液体物质；第二容器（１８），其用于接收来自第一容器（１６）的液体物质；第一流量控制装置（２０），其用于控制允许从第一容器流向第二容器（１８）的液体物质的量；蒸发装置（３０），其用于蒸发第二容器中的液体物质；和第二流量控制装置（３８），其用于控制从第二容器（１８）流向处理室（１４）的蒸发物质的流量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于将物质传输至处理室的传输系统，一种操作该传输系统的方法，以及包含这一传输系统的用于对制品表面进行等离子处理的设备。
技术介绍
传输系统至今已知用于将来自高沸点液体的蒸汽传输并计量至真空室，以便在真空室内进行化学或物理处理。这种系统不很适合于液体是化学反应性单体的情况。在一个已知的起泡器系统中，通过液体的载气泡，吸收蒸汽并将其传输至真空室。 在一个已知的蒸发器系统中，产生足够高的蒸汽压(在1托的量级)以经由质量流量控制 器将蒸汽传输至真空室。在蒸汽传输系统中，液体被加热并通过小口抽取，典型地由载气协 助。起泡器和蒸汽传输系统遭遇需要载气流的缺点，因而对蒸汽/载体组成的可行范 围有限定。蒸发器系统具有缺点，即液体必须被加热至足够高的温度，该高温产生能使质量 流量控制器正常工作的足够高压，伴随随后的不稳定的风险，包括在液体是单体的情况下 聚合的风险。蒸汽传输系统还倾向于或者是由液体中的颗粒污染或者是由于在液体是单体 的情况下聚合倾向而阻塞小孔。现有技术欧洲专利申请号EP-A3-1 202 321 (Applied Materials Inc)描述了一种用于 将液体前体蒸发并将其传输至处理室的设备和方法。液体前体的一个实例是三甲基硅烷 (TMS)，其用于所谓的等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法中，例如用于大规模集成电 路的制造中。加工厂中遇到的一个问题，PECVD方法存在的地方是TMS有时不得不被从距离反 应室一段相当大的距离的蒸发室来传输，这产生了不一致的前体流速。公开的设备通过在 邻近反应室放置安瓿和到其极接近处蒸发液体前体而克服了这个问题。欧洲专利申请号EP-A1-0-548 944(Canon KK)为人们描述了具有化学气相沉积系 统的气体供给设备，其不管操作参数的波动形成稳定的膜。液体前体补充系统的另一实例在国际专利申请号W0-A1-2006/059187 (L' Air Liquide SA)中得以描述。液体前体系统包括远程加热器和将蒸汽传输至反应室的传输管 路。所描述的系统克服了大量的反应性诸如引火的、或昂贵的材料存储于长的传输管路中 的问题。美国专利申请US 2003/0217697 (Hideaki Miyamoto等)公开了一种将气体供应 给出料罐的液体蒸发器，例如在半导体制造中所使用的类型。该系统使用温度控制阀的组 合阵列以便补偿由于绝热膨胀发生的蒸发液体中的热损失。前述专利公开描述了关于半导体和其他相似装置诸如超大规模集成电路的制造 的已知问题的解决方案。没有一个系统适合在用于涂覆较大物品的系统中使用，所述较大 物品诸如例如家庭物品以及衣服或鞋类物品、纸类商品或诸如电子物品的消费者产品。任何前述文件都没有提到关于用材料涂覆大物品以便将特有性质赋予大物品表面的问题的解决方案。本专利技术的一个目的是提供一种用于将物质传输至室的设备，目的在于在该室内或 通过该室将特有性质赋予大物品。术语大物品意在包括这样的事物，例如运动装备、织物及其类似物、材料、纸类产 品和合成塑料商品、衣服、高价值时尚物品及配饰、鞋类、电器商品、个人电子装置、移动电 话、寻呼机、个人数字助理(PDA)和MP3装置。
技术实现思路
根据本专利技术，提供了一种用于将物质传输至处理室的传输系统，在使用中，至少 一个大物品位于该处理室中，目的在于将一个或多个性质赋予该大物品的表面，该系统包 含第一容器，其用于填充液体物质；第二容器，其用于接收来自所述第一容器的液体物质；第一流量控制装置，其用于控制允许从所述第一容器流向所述第二容器的液体物 质的量；蒸发装置，其用于蒸发所述第二容器中的液体物质；及第二流量控制装置，其用于控制从所述第二容器流向处理室的蒸发物质的流量。本专利技术还提供了一种操作用于将物质传输至处理室的传输系统的方法，在使用 中，至少一个大物品位于该处理室中，目的在于将一个或多个性质赋予该大物品的表面，该 系统包含第一容器，其用于填充液体物质；第二容器，其用于接收来自所述第一容器的液体物质；第一流量控制装置，其用于控制允许从所述第一容器流向所述第二容器的液体物 质的量；蒸发装置，其用于蒸发所述第二容器中的液体物质；及第二流量控制装置，其用于控制从所述第二容器流向处理室的蒸发物质的流量；其中该方法包含允许所述量的液体物质从所述第一容器流向所述第二容器；蒸发所述容器中的液体物质；及允许所述蒸发物质流进所述处理室中。本专利技术还提供了一种用于对制品表面进行等离子处理的设备，该设备包含处理室，制品可以放置在该处理室中；如权利要求1所述的传输系统，以下用于将物质传输至该处理室以在所述室内形 成等离子体；用于在该处理室内产生电场的装置，其用于在所述物质供应到该处理室时形成等 离子体以便所述制品的表面能够被处理；及压力控制装置，其用于选择性地控制该处理室内的压力。本专利技术的其他优选和/或可选特征在随附的权利要求中加以限定。现将只是举例来说参照附图对本专利技术进行说明，在附图中附图简述 附图说明图1是表示用于将物质传输至处理室的传输系统的示意图；及图2是显示图1的传输系统的操作状态的表。示例实施方式详述参照图1，显示了传输系统10，用于将物质传输至处理室14。系统10包含第一容 器16，其可用液体物质12填充；第二容器18，用于接收来自第一容器16的液体物质；第一 流量控制装置20，用于控制允许从第一容器流向第二容器的液体物质的量；蒸发装置30， 用于蒸发第二容器中的液体物质；和第二流量控制装置38，用于控制从第二容器流向处理 室14的蒸发物质26的流量。第一容器16可以由系统操作者人工填充，并可采用漏斗容器或具有入口的封闭 容器的形式。第二容器18可以是用于容纳将被蒸发的液体的烧瓶或烧杯或其他器皿，且优 选为敞口以有助于液体向容器的供应和液体从容器的蒸发。提供蒸发装置30用于当液体物质在容器18中时将其蒸发。该容器中液体物质可 以如图1所示加热以促进蒸发，且这种加热装置可以包含加热板或者如果容器是导电的话 利用容器中的热感应。达到所需蒸发所需要的热量是多个不同因素的函数。这些因素包括液体上方周 围区域中的压力和该区域中的物质和其他成分的浓度；液体温度；液体中的分子间力；及 液体的表面面积。液体中的分子间力对于每种物质是个常数，表面面积对于具体尺寸和形 状的选定容器是个常数。尽管会受某些波动，但给定处理步骤所需的压力一般来说也是个 常数。因而，为使所需流量的物质达到处理室而提供给液体物质的热量可以或者通过计算 或者通过实验来确定。物质对蒸发装置活化的这一预定特征响应对于多种物质和对于将在 处理室中执行的多个处理步骤是可以确定的，且蒸发装置可以受控制以达到所需的蒸发速 率。第一流量控制装置20具有内部空间28，该内部空间尺寸定成当从第一容器16被 填充时接收预定量的液体物质。第一流量控制装置可以控制流入内部空间28的液体物质 的流量和从内部空间流向所述第二容器18的液体物质的流量。更具体地，第一流量控制装置20包含导管32、位于该导管上游部分的第一阀34和 位于该导管下游部分的第二阀36。内部空间由导管、第一和第二阀限定。除了该导管内的 空间外，内部空间28还占据了每个阀内的自由空间的一部分，且这些自由空间在确定内部 空本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于将物质传输至处理室的传输系统，在使用中，至少一个大物品位于所述处理室中以便将一个或多个性质赋予所述大物品的表面，所述系统包含：第一容器，其用于填充液体物质；第二容器，其用于接收来自所述第一容器的液体物质；第一流量控制装置，其用于控制允许从所述第一容器流向所述第二容器的液体物质的量；蒸发装置，其用于蒸发所述第二容器中的液体物质；及第二流量控制装置，其用于控制从所述第二容器流向处理室的蒸发物质的流量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：马尔科姆伍德科克，
申请(专利权)人：P二I有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]