弹性波装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种弹性波装置及其制造方法，所述弹性波装置在使用了凸点的倒装式接合时，不仅不易在压电基板上产生裂纹，还能够降低配线图案彼此的电连接部即接触部的接触电阻，改善插入损耗。所述弹性波装置（１）在压电基板（２）上形成第一、第二层叠导电膜，通过第一层叠导电膜（３３）形成ＩＤＴ电极及第一配线图案（１６），通过第二层叠导电膜（３１）形成连接凸点（３２）的电极焊盘（９）及第二配线图案（１７），形成至少一个第二配线图案（１７）重合在第一配线图案（１６）上而使两者电连接的接触部（Ｂ），第一层叠导电膜（３３）的最上层导电膜由Ｔｉ膜（３３ａ）构成，第二层叠导电膜（３１）的最下层导电膜是由Ａｌ或以Ａｌ为主体的合金构成的Ａｌ系导电膜（３１ｃ）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及例如用作谐振子或带通滤波器的，更具体而言，涉及对形成在压电基板上的配线图案彼此层叠的部分进行改良的弹性波装置及其制造 方法。
技术介绍
近年来，伴随着便携式电话机的小型化，对用于便携式电话机的带通滤波器也强 烈地要求小型化。作为这种带通滤波器，广泛地使用利用了弹性表面波的弹性表面波装 置。为了促进小型化，在弹性表面波装置中，用于在压电基板上形成IDT(叉指式换能器 (interdigital transducer))等的形成有导电膜的弹性表面波滤波器，不是通过引线接合 来连接封装件，而是通过使用了凸点的倒装式接合来连接封装件。 在下述专利文献1中公开有这种弹性表面波装置的一例。 图23是用于说明专利文献1所公开的弹性表面波装置的局部剖开的主视剖面 图。弹性表面波装置1001具有压电基板1002。在压电基板1002上通过层叠导电膜形成有 IDT1003。 IDT1003具有由Cu构成的主电极层1003a。在主电极层1003a的下侧层叠有由 Ti构成的密接层1003b。通过形成由Ti构成的密接层1003b，能够提高IDT1003相对于压 电基板1002的密接强度。 另外本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性波装置，其特征在于，具备压电基板、形成在所述压电基板上的第一层叠导电膜、形成在所述压电基板上的第二层叠导电膜，其中，通过所述第一层叠导电膜至少形成具有多根电极指的ＩＤＴ及与该ＩＤＴ连接的第一配线图案，通过所述第二层叠导电膜至少形成电极焊盘及与该电极焊盘相连的第二配线图案，至少具有一个所述第二配线图案与所述第一配线图案重叠而成的接触部，所述第二层叠导电膜具有由Ａｌ或以Ａｌ为主体的合金构成的最下层导电膜，所述第一层叠导电膜具有由Ｔｉ构成的最上层导电膜、比所述最上层导电膜靠下方配置的由Ａｌ或以Ａｌ为主体的合金构成的Ａｌ系导电膜。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中伸拓，山崎央，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]