毛刷清洗装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及掩模版清洗领域，具体为一种毛刷清洗装置，用于掩模版清洗生产中的毛刷清洗及其使用方法，解决在其工作中出现的造成掩模版表面划伤，清洗不干净等问题。该装置设有清洗液喷嘴、ＤＩ水喷嘴、毛刷，毛刷与掩模板表面相对应，在毛刷侧面设有清洗液喷嘴和ＤＩ水喷嘴。通过采用毛刷自旋转和掩模版旋转之间的摩擦实现清洗，在毛刷清洗过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过ＤＩ水喷嘴对毛刷喷洒ＤＩ水。在毛刷扫描和清洗过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过ＤＩ水喷嘴对毛刷喷洒ＤＩ水，实现对于０．５微米以上的污染物的去除率达到百分之九十七以上，同时避免了掩模版表面的划伤缺陷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及掩模版清洗领域，具体为一种毛刷清洗装置，用于掩模版清洗生产中 的毛刷清洗及其使用方法。
技术介绍
众所周知，在清洗过程中，掩模版在自旋转的同时，毛刷也在自旋转，这样二者之 间将产生摩擦，毛刷清洗主要是利用毛刷与被清洗掩模版表面摩擦的方式，去除掩模版表 面的污染物。然而在这个过程中，传统的清洗方式容易造成掩模版表面划伤，清洗不干净等 问题。另外，针对一些掩模版污染物，需要采用相应的清洗液才能清洗干净。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种，解决在其工作中出现的 造成掩模版表面划伤，清洗不干净等问题。本专利技术的技术方案是一种毛刷清洗装置，该装置设有清洗液喷嘴、DI水喷嘴、毛刷，毛刷与掩模板表面 相对应，在毛刷侧面设有清洗液喷嘴和DI水喷嘴。所述的毛刷清洗装置，还设有同步带、毛刷自旋转电机、主轴、联轴器、扫描马达、 毛刷手臂，扫描马达的输出端通过联轴器连接主轴，主轴上安装毛刷自旋转电机和毛刷手 臂，毛刷设置于毛刷手臂上，毛刷自旋转电机通过同步带连接毛刷。所述的毛刷清洗装置的使用方法，通过采用毛刷自旋转和掩模版旋转之间的摩擦 实现清洗，在毛刷清洗过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过DI水喷嘴对毛刷 喷洒DI水。所述的毛刷清洗装置的使用方法，扫描马达通过联轴器带动整个清洗装置围绕其 主轴做扫描运动；与此同时，毛刷自旋转电机带动毛刷自旋转；掩模版此时做反向的旋转 运动，这样通过毛刷与掩模版的相对摩擦运动实现清洗。所述的毛刷清洗装置的使用方法，在毛刷扫描和清洗过程中，通过清洗液喷嘴对 毛刷喷洒清洗液，通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水。所述的毛刷清洗装置的使用方法，清洗液与DI水交替使用。所述的毛刷清洗装置的使用方法，在喷洒清洗液时，掩模版的转速为50-1000rpm， 毛刷的转速为30-200rpm。所述的毛刷清洗装置的使用方法，在毛刷扫描和清洗的同时，DI水喷嘴同时喷洒 DI水。所述的毛刷清洗装置的使用方法，针对难以去除的污染物，采用清洗液喷嘴喷洒 相应清洗液。本专利技术的有益效果是1.本专利技术毛刷清洗装置由毛刷装置、DI水喷嘴和清洗液喷嘴组成，马达带动毛刷自旋转，通过采用毛刷自旋转和掩模版旋转之间的摩擦实现清洗，在毛刷扫描和清洗过程 中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水，实现对于0. 5微 米以上的污染物的去除率达到百分之九十七以上，同时避免了掩模版表面的划伤缺陷。2.本专利技术毛刷清洗装置在毛刷与掩模版摩擦清洗时，对于某些污染物的去除，需 采用相应的清洗液。为避免其划伤，采用毛刷旋转配合清洗液及DI水针对掩模版清洗。3.本专利技术毛刷清洗装置在清洗液喷洒时，掩模版的转速不应过快，这样可保证清 洗液与掩模版表面充分接触。4.本专利技术毛刷清洗装置，清洗液与DI水交替使用，可实现清洗效果最佳。 附图说明图1为本专利技术的结构示意图。图中，1、掩模板；2、清洗液喷嘴；3、DI水(去离子水)喷嘴；4、毛刷；5、同步带；6、 毛刷自旋转电机；7、主轴；8、联轴器；9、扫描马达；10、毛刷手臂。具体实施方式如图1所示，本专利技术毛刷清洗装置主要包括掩模板1、清洗液喷嘴2、DI水(去离 子水)喷嘴3、毛刷4、同步带5、毛刷自旋转电机6、主轴7、联轴器8、扫描马达9、毛刷手臂 10等，具体结构如下扫描马达9的输出端通过联轴器8连接主轴7，主轴7上安装毛刷自旋转电机6和 毛刷手臂10，毛刷4设置于毛刷手臂10上，毛刷自旋转电机6通过同步带5连接毛刷4，毛 刷4与掩模板1表面相对应，在毛刷4侧面设有清洗液喷嘴2和DI水(去离子水)喷嘴3。本专利技术中，扫描马达9通过联轴器8带动整个清洗装置围绕其主轴7做扫描运动。 与此同时，毛刷自旋转电机6带动毛刷4自旋转。掩模版1此时也在做反向的旋转运动，这 样就实现了毛刷与掩模版的相对摩擦运动。同时，在扫描和清洗过程中，清洗液和DI水根 据需要开放。由于在扫描和清洗过程中，如果没有DI水同时喷洒润湿毛刷，很有可能造成掩模 版表面发生划伤现象。因此，在毛刷扫描的同时，DI水(去离子水)喷嘴3也要同时喷洒 DI水。针对一些较为难以去除的污染物，需采用清洗液喷嘴2喷洒相应清洗液。这样，在 喷洒DI水之前，应先打开清洗液的阀门喷洒一定量的清洗液。由于清洗液是粘度和水差不 多的液体，因此也能起到润湿毛刷的作用，而不会造成掩模版表面划伤。因为清洗液对于污染物的去除作用主要体现在浸泡上，故在喷洒清洗液时，掩模 版的转速不宜过快，掩模版的转速一般为50-1000rpm。如果掩模版的转数过快，将导致清洗 液很快被离心力刷开，这样很浪费清洗液。在喷洒清洗液时，掩模版应采用低转速。但毛刷 的转数不必过低，毛刷的转速一般为30-200rpm，这么做的目的是保证充分摩擦。权利要求1.一种毛刷清洗装置，其特征在于该装置设有清洗液喷嘴、DI水喷嘴、毛刷，毛刷与 掩模板表面相对应，在毛刷侧面设有清洗液喷嘴和DI水喷嘴。2.按照权利要求1所述的毛刷清洗装置，其特征在于还设有同步带、毛刷自旋转电 机、主轴、联轴器、扫描马达、毛刷手臂，扫描马达的输出端通过联轴器连接主轴，主轴上安 装毛刷自旋转电机和毛刷手臂，毛刷设置于毛刷手臂上，毛刷自旋转电机通过同步带连接 毛刷。3.—种权利要求1所述的毛刷清洗装置的使用方法，其特征在于通过采用毛刷自旋 转和掩模版旋转之间的摩擦实现清洗，在毛刷清洗过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清 洗液，通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水。4.一种权利要求2所述的毛刷清洗装置的使用方法，其特征在于扫描马达通过联轴 器带动整个清洗装置围绕其主轴做扫描运动；与此同时，毛刷自旋转电机带动毛刷自旋转； 掩模版此时做反向的旋转运动，这样通过毛刷与掩模版的相对摩擦运动实现清洗。5.按照权利要求4所述的毛刷清洗装置的使用方法，其特征在于在毛刷扫描和清洗 过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水。6.按照权利要求5所述的毛刷清洗装置的使用方法，其特征在于清洗液与DI水交替 使用。7.按照权利要求5所述的毛刷清洗装置的使用方法，其特征在于在喷洒清洗液时，掩 模版的转速为50-1000rpm，毛刷的转速为30_200rpm。8.按照权利要求5所述的毛刷清洗装置的使用方法，其特征在于在毛刷扫描和清洗 的同时，DI水喷嘴同时喷洒DI水。9.按照权利要求5所述的毛刷清洗装置的使用方法，其特征在于针对难以去除的污 染物，采用清洗液喷嘴喷洒相应清洗液。全文摘要本专利技术涉及掩模版清洗领域，具体为一种毛刷清洗装置，用于掩模版清洗生产中的毛刷清洗及其使用方法，解决在其工作中出现的造成掩模版表面划伤，清洗不干净等问题。该装置设有清洗液喷嘴、DI水喷嘴、毛刷，毛刷与掩模板表面相对应，在毛刷侧面设有清洗液喷嘴和DI水喷嘴。通过采用毛刷自旋转和掩模版旋转之间的摩擦实现清洗，在毛刷清洗过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水。在毛刷扫描和清洗过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水，实现对于0.5微米以上的污染物的去除率达到百分之九十七以上，同时避免了掩模版表面的划伤缺陷。文档编号A46B13/04GK102028357SQ2010105661本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种毛刷清洗装置，其特征在于：该装置设有清洗液喷嘴、ＤＩ水喷嘴、毛刷，毛刷与掩模板表面相对应，在毛刷侧面设有清洗液喷嘴和ＤＩ水喷嘴。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：侯宪华，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]