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本发明涉及掩模版清洗领域，具体为一种毛刷清洗装置，用于掩模版清洗生产中的毛刷清洗及其使用方法，解决在其工作中出现的造成掩模版表面划伤，清洗不干净等问题。该装置设有清洗液喷嘴、ＤＩ水喷嘴、毛刷，毛刷与掩模板表面相对应，在毛刷侧面设有清洗液喷嘴...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

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