【技术实现步骤摘要】
本技术涉及液-固分离装置,特别涉及硅切割液膜分离集成装置及其耦合装置。
技术介绍
近年来随着太阳能电池工业以及电子信息产业的飞速发展,单、多晶硅的需求 也相应地持续增长,作为硅晶加工过程中必不可少的原料之一的硅切割液市场需求也持 续增长。由于在应用上对硅晶片表面的平整度、洁净度、导电性等性能指标有着严格的 要求,所以需要在硅晶加工的切割过程中需要使用硬度高、粒度小且粒径分布集中的碳 化硅微粉作为主要切削介质,为使碳化硅微粉在切削过程中分散均勻,同时及时带走切 削过程中产生的巨大的摩擦热,通常需先将碳化硅微粉按照一定比例加入到以聚乙二醇 (PEG)基为主要原料合成的水溶性太阳能硅片切割液中并充分分散,配置成均勻稳定的 切割砂浆后再用于硅晶片切割。但由于加工过程中硅切割液会逐渐失效,这样就导致生产企业必须面对大量硅 切割废液的处理问题。由于硅切割液以有机物及低分子量的聚合物为主要成分导致废液 COD值非常高,采用常规的废水处理手段难以处理,并且由于其中含有大量的磨料颗粒 会产生大量的废渣也加大了处理的难度。针对硅切割废液的特点,以适当的方法回收其中的可利用组分,不仅 ...
【技术保护点】
一种硅切割液膜分离集成装置,其特征在于:包括微滤膜分离装置和与其相连接的超滤膜分离装置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陆惠民,沈柏明,陈俊,沈昀昀,周宝强,
申请(专利权)人:湖州科弘环境工程有限公司,
类型:实用新型
国别省市:33
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