硅切割液膜分离集成装置及其耦合装置制造方法及图纸

技术编号:5247145 阅读:171 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及液-固分离装置,特别涉及硅切割液膜分离集成装置及其耦合装置。硅切割液膜分离集成装置包括微滤膜分离装置和与其相连接的超滤膜分离装置。硅切割液膜分离集成装置及其耦合装置,包括所述的硅切割液膜分离集成装置和化学清洗装置、超滤反洗装置。本实用新型专利技术的硅切割液膜分离集成装置及其耦合装置结构简单,操作简便,生产成本低,分离效果好,精度高。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及液-固分离装置,特别涉及硅切割液膜分离集成装置及其耦合装置
技术介绍
近年来随着太阳能电池工业以及电子信息产业的飞速发展,单、多晶硅的需求 也相应地持续增长,作为硅晶加工过程中必不可少的原料之一的硅切割液市场需求也持 续增长。由于在应用上对硅晶片表面的平整度、洁净度、导电性等性能指标有着严格的 要求,所以需要在硅晶加工的切割过程中需要使用硬度高、粒度小且粒径分布集中的碳 化硅微粉作为主要切削介质,为使碳化硅微粉在切削过程中分散均勻,同时及时带走切 削过程中产生的巨大的摩擦热,通常需先将碳化硅微粉按照一定比例加入到以聚乙二醇 (PEG)基为主要原料合成的水溶性太阳能硅片切割液中并充分分散,配置成均勻稳定的 切割砂浆后再用于硅晶片切割。但由于加工过程中硅切割液会逐渐失效,这样就导致生产企业必须面对大量硅 切割废液的处理问题。由于硅切割液以有机物及低分子量的聚合物为主要成分导致废液 COD值非常高,采用常规的废水处理手段难以处理,并且由于其中含有大量的磨料颗粒 会产生大量的废渣也加大了处理的难度。针对硅切割废液的特点,以适当的方法回收其中的可利用组分,不仅可以降低 废液对环境本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅切割液膜分离集成装置,其特征在于:包括微滤膜分离装置和与其相连接的超滤膜分离装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陆惠民沈柏明陈俊沈昀昀周宝强
申请(专利权)人:湖州科弘环境工程有限公司
类型:实用新型
国别省市:33

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1