高纯度三氯氧磷储运供料装置制造方法及图纸

一种高纯度三氯氧磷储运供料装置，高纯三氯氧磷储料罐上的出料口阀门通过带高纯耐腐蚀泵的输料管连接高纯三氯氧磷储料罐上的回料口阀门，形成闭路循环，输料管上的次级输料管道连接外包半导体冷阱的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接磷扩散器，带调压阀的高纯氮气进气管分别连接高纯三氯氧磷储料罐上的氮气入口阀、回料口阀门和出料口阀门。本实用新型专利技术减少了操作的劳动强度，节约人力成本；增加了操作的安全性，同时减少了物料污染的几率；增强了操作系统的连续性，简化了操作的难易度；全ＰＦＡ材料彻底杜绝了玻璃材料和其他材料的金属杂质溶出风险；极大地减少了生产和物流成本，受到三氯氧磷使用厂家的广泛欢迎。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种剧毒危险品高纯度三氯氧磷的储运供料装置。
技术介绍
目前，高纯度的三氯氧磷(99. 9999% 99. 99999% )是生产制造光纤预制棒的 主要原材料之一，也是集成电路、太阳能电池、电子元器件生产过程的扩散、掺杂工艺中的 主要原料，被广泛运用于光伏、IC产业。但其属于强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应 的无色透明化学品。目前对高纯度三氯氧磷的储运供料一种是使用高纯石英容器(0.4 1. 5L)盛装，进出高纯氮气管采用PFA阀门密封、连接，作为运输和使用容器，其缺点是玻璃 容器易碎、换瓶频繁、操作危险、泄漏风险高、人力成本高、物流成本高；另一种是使用19L 不锈钢SS316L储罐，其缺点是操作烦琐、装置结构复杂、工作压力高、装置自身成本高、维 护成本高(需专业维护人员)，且不能彻底杜绝金属杂质对物料的污染。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单、安全可靠、无泄漏、无污染、使用方便，运 行成本低的高纯度三氯氧磷储运供料装置。本技术的目的是这样实现的高纯三氯氧磷储料罐上的出料口阀门通过带高 纯耐腐蚀泵的输料管连接高纯三氯氧磷储料罐上的回料口阀门，形成闭路循环，输料管上 的次级输料管道连接外包半导体冷阱的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接磷扩散器，带调压阀 的高纯氮气进气管分别连接高纯三氯氧磷储料罐上的氮气入口阀、回料口阀门和出料口阀 门。高纯三氯氧磷储料罐上的氮气入口阀还连接带安全阀和排压阀的尾气排放管。石英鼓泡器上有高纯氮气供气管。由于本技术采用上述结构，减少了操作的劳动强度，节约人力成本；增加了操 作的安全性，同时减少了物料污染的几率；增强了操作系统的连续性，简化了操作的难易 度；极大地减少了顾客的购置和维护成本；全PFA材料彻底杜绝了玻璃材料和其他材料的 金属杂质溶出风险；极大地减少了生产和物流成本，受到三氯氧磷使用厂家的广泛欢迎。附图说明图1为本技术实施例的结构图。图中1高纯三氯氧磷储料罐、2出料口阀、3回料口阀、4氮气入口阀、5高纯度耐腐 蚀泵、6石英鼓泡器、7半导体冷阱、8高纯氮气供气管、9磷扩散器、10调压阀、11次级输料 管、12输料管、13尾气排放管、14安全阀、15排压阀、16高纯氮气进气管。具体实施方式实施例高纯三氯氧磷储料罐1上的出料口阀门2通过带高纯耐腐蚀泵5的输料管12连接高纯三氯氧磷储料罐1上的回料口阀门3，形成闭路循环，输料管12上的次级输 料管道11连接外包半导体冷阱7的石英鼓泡器6，石英鼓泡器6连接磷扩散器9，带调压阀 10的高纯氮气进气管16分别连接高纯三氯氧磷储料罐1上的氮气入口阀4、回料口阀门3 和出料口阀门2，高纯三氯氧磷储料罐1上的氮气入口阀4还连接带安全阀14和排压阀15 的尾气排放管13，石英鼓泡器6上有高纯氮气供气管8。 三氯氧磷储料罐1的氮气入口阀4连接尾气排放管13，尾气排放管13后并联连接 安全阀14和排压阀15，关闭排压阀15后调节调压阀10至合适压力，保证三氯氧磷储料罐 1内压力平衡。三氯氧磷储料罐1的出料口阀2连接高纯耐腐蚀泵5，高纯耐腐蚀泵5连接 输料管12，输料管12连接三氯氧磷储料罐1的回料口阀3，形成闭路循环。输料管12分出 多支次级输料管11，次级输料管11连接外包半导体冷阱7的石英鼓泡器6，石英鼓泡器6 连接磷扩散器9，高纯三氯氧磷储料罐1上有氮气入口阀4，石英鼓泡器6上有高纯氮气供 气管8。调节调节阀10至合适压力，20L高纯三氯氧磷储料罐1上部一端通过氮气入口阀4 接入使用现场的高纯氮气，三氯氧磷储料罐1的出料口阀2连接高纯耐腐泵5，高纯耐腐蚀 泵5通过输送管12连接到回料口阀3，启动高纯耐腐泵5，并形成闭路循环系统。待闭路循 环稳定，打开次级输料管11上的供料阀门，给待供料石英源瓶供料，使用时在石英鼓泡器6 内按磷扩散工艺需求打开进料阀门放入一定量的高纯三氯氧磷，开启半导体冷阱7将石英 鼓泡器6内物料调节到20°C，再开启现场的高纯氮气，将氮气流量控制在合适的范围，持续 鼓泡带走物料，待物料使用将尽，重新打开进料阀门放入物料以供系统连续稳定运行。 本装置用的所有管、阀、泵、罐的材质均为高纯PFA，防止了物料泄漏并方便安装管 道。权利要求1.一种高纯度三氯氧磷储运供料装置，其特征是高纯三氯氧磷储料罐上的出料口阀 门通过带高纯耐腐蚀泵的输料管连接高纯三氯氧磷储料罐上的回料口阀门，形成闭路循 环，输料管上的次级输料管道连接外包半导体冷阱的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接磷扩散 器，带调压阀的高纯氮气进气管分别连接高纯三氯氧磷储料罐上的氮气入口阀、回料口阀 门和出料口阀门。2.根据权利要求1所述的一种高纯度三氯氧磷储运供料装置，其特征是高纯三氯氧 磷储料罐上的氮气入口阀还连接带安全阀和排压阀的尾气排放管。3.根据权利要求1所述的一种高纯度三氯氧磷储运供料装置，其特征是石英鼓泡器 上有高纯氮气供气管。专利摘要一种高纯度三氯氧磷储运供料装置，高纯三氯氧磷储料罐上的出料口阀门通过带高纯耐腐蚀泵的输料管连接高纯三氯氧磷储料罐上的回料口阀门，形成闭路循环，输料管上的次级输料管道连接外包半导体冷阱的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接磷扩散器，带调压阀的高纯氮气进气管分别连接高纯三氯氧磷储料罐上的氮气入口阀、回料口阀门和出料口阀门。本技术减少了操作的劳动强度，节约人力成本；增加了操作的安全性，同时减少了物料污染的几率；增强了操作系统的连续性，简化了操作的难易度；全PFA材料彻底杜绝了玻璃材料和其他材料的金属杂质溶出风险；极大地减少了生产和物流成本，受到三氯氧磷使用厂家的广泛欢迎。文档编号F17D1/14GK201827656SQ20102053674公开日2011年5月11日 申请日期2010年9月17日 优先权日2010年9月17日专利技术者向东, 姜盛君, 舒骁骥 申请人:向东本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高纯度三氯氧磷储运供料装置，其特征是：高纯三氯氧磷储料罐上的出料口阀门通过带高纯耐腐蚀泵的输料管连接高纯三氯氧磷储料罐上的回料口阀门，形成闭路循环，输料管上的次级输料管道连接外包半导体冷阱的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接磷扩散器，带调压阀的高纯氮气进气管分别连接高纯三氯氧磷储料罐上的氮气入口阀、回料口阀门和出料口阀门。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：向东，舒骁骥，姜盛君，
申请(专利权)人：向东，
类型：实用新型
国别省市：52[中国|贵州]