一种用于控制和监控激光能量的装置、系统和方法制造方法及图纸

本发明专利技术基于探测准分子激光器的激光脉冲撞击到参考材料上时所生成的声音的原理。特别是在准分子激光器的激光脉冲撞击在参考材料上的地方，辐射通过光解作用来切除对应量的参考材料。可以基于测量由切除所产生的声冲击波来确定材料的切除量，该切除量与施加到参考材料上的脉冲能量成比例。所述参考材料优选地为由可被准分子激光切除的材料制成的片，更优选地为塑胶制成的片，并且最优选地为ＰＭＭＡ制成的片。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于测量撞击到参考材料上的准分子激光器的激光脉冲的能量的装置，包括用于探测声音的构件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：S梁，R滕尼斯，
申请(专利权)人：博士伦公司，
类型：发明
国别省市：US[]