【技术实现步骤摘要】
本技术以激光干涉仪为基础，再配以高精度的工装，检测各类高精度90。外 角棱镜的激光干涉测量仪。
技术介绍
目前，高精度棱镜90°角的检测，在激光干涉仪上一般采用内测法，这种检测方法 受到光学材料折射率的影响，对测角精度影响很大。
技术实现思路
针对以上不足，本技术的目的在于提供一种90。外角棱镜激光干涉测量仪， 是基于激光干涉仪的光学测角方法，在原来的激光干涉测量仪中加入一组高精度的工装设 备，减少各种影响测量结果的因素，得到高精确的测量结果。 本技术的技术方案是通过以下方式实现的90°外角棱镜激光干涉测量仪， 包括2块高精度反射镜和l块高精度平板玻璃，反射镜和平板玻璃之间互相垂直，90。待测 棱镜置于平板玻璃上面，其特征在于所述的反射镜一面为抛光面，另一面为磨砂面，抛光 面与平板玻璃的两端面胶合接触。 所述的反射镜抛光面的光圈要求0. 2f，表面要求60-40，镀膜区域需镀银反光 膜R>= 95%。 所述的平板玻璃和反射镜胶合面需抛光，抛光面光圈要求；0.5f，平行差〈二 0. 5。 本技术，光的折射不受到光学材料折射率的影B向，测量结果准确，操作灵活， 简单易行。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式由图1知，本实施例的90°外角棱镜激光干涉测量仪，由2块高精度反射镜1和一 块高精度平板玻璃3，反射镜l和平板玻璃3之间互相垂直，90。待测棱镜2置于平板玻璃 3上面，将反射镜1 ，平板玻璃3的工作面处理清洁，然后利用光学玻璃之间相互吸引的原理 将两个反射镜1光胶上平板玻璃3，并保证了它们的抛光面之间的平行差<=0. 5，将被测 棱镜2置...
【技术保护点】
９０°外角棱镜激光干涉测量仪，包括２块高精度反射镜（１）和１块高精度平板玻璃（３），反射镜（１）和平板玻璃（３）之间互相垂直，９０°待测棱镜（２）置于平板玻璃上面，其特征在于：所述的反射镜（１）一面为抛光面，另一面为磨砂面，抛光面与平板玻璃（３）的两端面胶合接触。
【技术特征摘要】
90°外角棱镜激光干涉测量仪，包括2块高精度反射镜(1)和1块高精度平板玻璃(3)，反射镜(1)和平板玻璃(3)之间互相垂直，90°待测棱镜(2)置于平板玻璃上面，其特征在于所述的反射镜(1)一面为抛光面，另一面为磨砂面，抛光面与平板玻璃(3)的两端面胶合接触。2. 根据权利要求1所述的90。外角棱镜...
【专利技术属性】
技术研发人员：周卫华，陈华，陈文宇，
申请(专利权)人：丹阳弘业电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
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