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90°外角棱镜激光干涉测量仪制造技术
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文档序号:5200651
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90°外角棱镜激光干涉测量仪,包括2块高精度反射镜(1)和1块高精度平板玻璃(3),反射镜(1)和平板玻璃(3)之间互相垂直,90°待测棱镜(2)置于平板玻璃上面,其特征在于:所述的反射镜(1)一面为抛光面,另一面为磨砂面,抛光面与平板玻璃...
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