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一种用于生物信息采样的微阵列电极制造技术

技术编号:5167625 阅读:181 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种用于生物信息采样的微阵列电极,包括硅片体,硅片体上设有阵列电极,所述电极为圆锥形针头,针头顶部的直径小于10微米,针头的高度H为350~650微米,圆锥形针头的底面直径L为50~80微米,在针头与硅片体的外表面包覆有金属层;位于硅片体底面上的金属层上设有引出线;所述相邻针头之间的间距M为50~200微米;所述针头内设有针孔,针孔的下端与硅片体相连。本发明专利技术解决了电极与皮肤的接触电阻问题,不需要在皮肤上涂抹导电物质,不受被测量机体的几何形状限制,可以在任意位置上保证良好的接触面和极小的接触电阻。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于医疗器械,尤其涉及一种用于生物信息采样的微阵列电极
技术介绍
医用脑电图电极是医学检测中常用的一种传感器.采用脑电图机对人体进行检 查时必须通过适当的医用电极与人的机体接触,目的在于引出人体生物电并通过适当的放 大处理来观察、记录,测量生物电变化达到诊断病情之目的.可见,医用电极的好坏直接影 响到心脑电信号的检测结果,其重要性不容忽视。脑电图机所配套的医用电极选用新旧不 一、规格不一、触头松紧不一、表面干净差异等组合对人体进行脑电图测量。结果导致脑电 图机测量过程记录干扰大、图形失真、计量不准、诊断结果不可靠。因此,医用电极的好坏对 脑电图机测量结果影响很大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种结构简单,加工方便,测量过程记录干扰小、图形不失 真、计量准确、诊断结果可靠的生物信息采样的微阵列电极。本专利技术是通过以下技术方案实现的一种用于生物信息采样的微阵列电极,包括硅片体,硅片体上设有阵列电极,所述 电极为圆锥形针头,针头顶部的直径小于10微米,针头的高度H为350 650微米,圆锥形 针头的底面直径L为50 80微米,在针头与硅片体的外表面包覆有金属层;位于硅片体底 面上的金属层上设有引出线。所述相邻针头之间的间距M为50 200微米。所述针头内设有针孔,针孔的下端与硅片体相连。本专利技术的优点是1、解决了电极与皮肤的接触电阻问题。2、不需要在皮肤上涂抹导电物质。3、不受被测量机体的几何形状限制,可以在任意位置上保证良好的接触面和极小 的接触电阻。附图说明图1为本专利技术结构示意图;图2为图1中A-A向截面视图。具体实施例方式实施例如图所示的用于生物信息采样的微阵列电极,在硅片体1上设有阵列电 极,所述电极为圆锥形针头2,针头2顶部的直径小于10微米,针头2的高度H为350 650 微米,圆锥形针头2的底面直径L为50 80微米,在针头2与硅片体1的外表面包覆有金属层4 ;位于硅片体1底面上的金属层4上设有引出线5。所述相邻针头2之间的间距M为 50 200微米。所述针头2内设有针孔3,针孔3的下端与硅片体1连接。所述针头2的高度、底面直径及相邻距离在上述范围内可根据具体情况而定,由 此来确定单位面积内针头2的数量。加工时先在在单位面积的硅片体1上,刻蚀出由多个针头2组成的微阵列电极,再 在其内外侧通过表面蒸发金属工艺(硬度大的如镍、铬等)实现,形成内心是硅片体1、外 层包裹一层金属层4的结构。在硅片体1上包裹一层金属层4的结构,既保证针头2的硬度 也要金属的韧性和导电性能,保证存入针头2刺入皮肤角质层的同时防止针头2断裂。针 头2刺入角质层,达不到神经末稍深度,因此不会引起疼痛,针头2刺入角质层可以构成良 好的接触面和极小的接触电阻,解决了电极与皮肤的接触电阻问题。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于生物信息采样的微阵列电极,包括硅片体,硅片体上设有阵列电极,其特征是:所述电极为圆锥形针头,针头顶部的直径小于10微米,针头的高度H为350~650微米,圆锥形针头的底面直径L为50~80微米,在针头与硅片体的外表面包覆有金属层;位于硅片体底面上的金属层上设有引出线。

【技术特征摘要】
1.一种用于生物信息采样的微阵列电极,包括硅片体,硅片体上设有阵列电极,其特征 是所述电极为圆锥形针头,针头顶部的直径小于10微米,针头的高度H为350 650微 米,圆锥形针头的底面直径L为50 80微米,在针头与硅片体的外表面包覆有金属层;位 于...

【专利技术属性】
技术研发人员:关方霞吴建春杨波吴迪
申请(专利权)人:郑州大学
类型:发明
国别省市:41

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