液滴喷射头以及液滴喷射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供耐久性提高了的液滴喷射头以及液滴喷射装置。该液滴喷射头包括：压力室基板（１０），其设置有与喷嘴孔（１２）连通的压力室（１１）；振动板（３０），其具有第一面（３１）和与第一面相对的第二面，用第一面覆盖压力室（１１）；第一导电层（４０）；压电体层（５０）；第二导电层（６０），第二导电层形成为，从第二方向（２２０）观察，至少在与第一区域面（３３）重叠的区域内，在第一方向（２１０）上覆盖压电体层而连续地形成，且以在第三方向（２３０）上与第一导电层的一部分重叠的方式覆盖压电体层的至少一部分，进而从第二方向观察，在相邻的第一导电层之间的区域的至少一部分具有向第三方向的两侧延伸的延伸部（６５ａ、６５ｂ）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液滴喷射头以及液滴喷射装置。
技术介绍
在例如喷墨打印机等液滴喷射装置中，为了喷射墨等的液滴，已知具备压电元件 的液滴喷射头。这样的液滴喷射头，例如能够通过驱动信号等，压电元件使振动板变形，由 此使在振动板的下方形成的压力室内的压力变化。由此，能够使被供给到了压力室内的墨 等的液滴从喷嘴孔喷射。在这样的液滴喷射头中，存在下述方案例如出于保护抗湿气等外 在因素所导致的破坏能力弱的压电元件的压电体层的目的，具有由上部电极覆盖压电体层 的结构(例如专利文献1(图2))。专利文献1特开2009-172878号公报但是，如果采用专利文献1所示那样的压电元件的上部电极结构，则在对下部电 极和上部电极施加电压而使压电层变形了时，相反会从压电层对上部电极施加应力。在观 察压电元件的纵长方向的情况下，由于上部电极的一方成为自由端，相对于此，另一方延长 直至压力室、压电体的外部等，所以存在着下述的问题在由上部电极与下部电极的重叠区 域定义的有源区域的两端，在应力上产生不平衡，尤其是在自由端侧，在耐久性上容易产生 裂纹。
技术实现思路
根据本专利技术的几种方式，能够提供一种其耐久性提高了的液本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液滴喷射头，包括：压力室基板，其设置有与喷嘴孔连通的压力室；振动板，其具有第一面和与该第一面相对的第二面，并用所述第一面覆盖所述压力室；第一导电层；压电体层；以及第二导电层，其中，在所述压力室基板，在第一方向上并列设置有多个所述压力室；所述振动板形成为，从与所述第一方向正交且成为所述第一面的法线方向的第二方向观察，在所述第一面具有覆盖所述压力室的第一区域面；所述第一导电层以下述方式形成有多个，即：从所述第二方向观察，在所述第一方向上、在与所述第一区域面重叠的区域内覆盖所述振动板的所述第二面，且在所述第一方向以及与所述第二方向正交的第三方向的至少一方上延伸至与所述第一区域面重叠的区域之外而覆...

【技术特征摘要】
JP 2009-10-16 239335/20091.一种液滴喷射头，包括压力室基板，其设置有与喷嘴孔连通的压力室；振动板，其具有第一面和与该第一面相对的第二面，并用所述第一面覆盖所述压力室；第一导电层； 压电体层；以及 第二导电层，其中，在所述压力室基板，在第一方向上并列设置有多个所述压力室； 所述振动板形成为，从与所述第一方向正交且成为所述第一面的法线方向的第二方向 观察，在所述第一面具有覆盖所述压力室的第一区域面；所述第一导电层以下述方式形成有多个，S卩从所述第二方向观察，在所述第一方向 上、在与所述第一区域面重叠的区域内覆盖所述振动板的所述第二面，且在所述第一方向 以及与所述第二方向正交的第三方向的至少一方上延伸至与所述第一区域面重叠的区域 之外而覆盖所述振动板的所述第二面；所述压电体层形成为，从所述第二方向观察，至少在与所述第一区域面重叠的区域内 覆盖所述第一导电层；所述第二导电层形成为，从所述第二方向观察，至少在与所述第一区域面重叠的区域 内，在所述第一方向上覆盖所述压电体层而连续地形成，且以在所述第三方向上与所述第 一导电层的一部分重叠的方式覆盖所述压电体层的至少一部分；进而所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：平井荣树，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP