【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种径向垂直度检测台，用于光伏行业检测单晶圆棒的径向垂直度。技术背景目前现在大部分光伏企业对质量要求提高又上了新的一个台阶，电池片企业对硅 片制造的要求提高，处理不良品硅片也由之前的全部接受降至崩边和边长偏小的一类，对 产生的未滚磨片一概不予接受，未滚磨和偏心的产生有两种来源一是圆棒粘接过程中的 偏心，由于现在粘接工装缺乏检测手段，所以粘好后就直接上机切割；二是线开过程中产 生，由于设备是进口，所以程序和操作的失误有时会带来影响。圆棒粘接是硅片制造车间的第一道工序，硅片的成品率提高必须从该岗位抓起， 现在各光伏企业都是通过线开方来出方棒；所以将圆棒粘接到晶托上，保证圆棒粘接精度 是第一要素，圆棒粘接好后现在是通过单向百分表检测圆跳动，所以对偏心和倾斜的晶棒 无法保证对中精度，从而影响方棒收率。
技术实现思路
本专利技术的目的提供一种既能保证单晶圆棒垂直精度，又能保证单晶圆棒对中精 度，同时不需要二次检测圆跳动的径向垂直度检测台。实现上述目的的技术方案是一种径向垂直度检测台，由底板、转盘、带刻度尺的 立柱、深度测量尺和分度表组成，立柱的下端具有底座，该底座固定在底板上，转盘可旋转 地支撑在底板上，深度测量尺和分度表可移动地安装在立柱上，且深度测量尺位于分度表 的下方。采用上述技术方案后，首先将粘接好的单晶圆棒连同晶托放入转动盘内，调节深 度测量尺位置，测量凹凸部位四个径向线的距离，看是否一致，以判断单晶圆棒倾斜度，用 移动分度表从上之下测量多点处跳动，以判断单晶圆棒垂直倾斜的范围，这样便于控制未 滚磨的位置，以便及时调整和判断，因而采用本专利...
【技术保护点】
一种径向垂直度检测台，其特征在于：它由底板（１０）、转盘（１１）、带刻度尺（２－１）的立柱（２）、深度测量尺（７）和分度表（８）组成，立柱（２）的下端具有底座（１），该底座（１）固定在底板（１０）上，转盘（１１）可旋转地支撑在底板（１０）上，深度测量尺（７）和分度表（８）可移动地安装在立柱（２）上，且深度测量尺（７）位于分度表（８）的下方。
【技术特征摘要】
1.一种径向垂直度检测台，其特征在于它由底板(10)、转盘(11)、带刻度尺的 立柱O)、深度测量尺(7)和分度表(8)组成，立柱( 的下端具有底座(1)，该底座(1)固 定在底板(10)上，转盘(11)可旋转地...
【专利技术属性】
技术研发人员：林玉往，杨阳，赵建兴，王永平，吴伟忠，常青，
申请(专利权)人：常州有则科技有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]
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